फैब्रिकेशन प्रक्रिया में, फोटोरेजिस्ट को सुखाने की प्रक्रिया में होने वाला थर्मल ड्रिफ्ट, या सफाई के बाद शेष रहने वाली नमी, न केवल उत्पादन दर को प्रभावित करती है; बल्कि इससे उत्पादों के महत्वपूर्ण आयाम भी प्रभावित होते हैं, जिससे उत्पादन की गुणवत्ता भी कम हो जाती है। हमने ऐसी इन्फ्रारेड हीटिंग लैंपें विकसित की हैं, ताकि थर्मल नियंत्रण उचित स्तर पर बना रहे – प्रत्येक चक्र में।
क्या महत्वपूर्ण है?
हम तेज़ प्रतिक्रिया वाले क्वार्ट्ज घटकों के साथ शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड एमिटरों का उपयोग करते हैं। इसके परिणामस्वरूप, कुछ ही सेकंडों में तेज़ एवं दिशात्मक तापन होता है। वेफरों पर तापमान की एकरूपता ±0.1°C तक रहती है, एवं विभिन्न बैचों में भी इसकी पुनरावृत्ति संभव है। यह डिज़ाइन क्लास 1 से क्लास 100 तक के क्लीनरूमों में भी उपयोग के लिए उपयुक्त है; इसमें कोई कण उत्पन्न नहीं होते, एवं ऊर्जा खपत भी कम होती है। 5,000+ घंटों तक इसका आउटपुट स्थिर रहता है, एवं तीव्रता में 5% से भी कम परिवर्तन होता है। क्लोज्ड-लूप नियंत्रण के कारण थर्मल नियंत्रण बेहतर रहता है, एवं इसका आकार छोटा होने के कारण इसे नए उपकरणों में आसानी से लगाया जा सकता है।
वास्तविक कार्यों में इसका क्या लाभ है?
वेफरों को सुखाने में, इसकी मदद से सतही तनाव जल्दी ही कम हो जाता है; इससे उत्पादन दर बनी रहती है। लिथोग्राफी में, यह ऐसा तापमान प्रदान करता है, जिससे उत्पादों की गुणवत्ता बनी रहती है। पैकेजिंग में, यह एनकैप्सुलेंट एवं अंडरफिल को जल्दी ही सूखने में मदद करता है; इससे ओवन में रहने का समय कम हो जाता है, एवं ऊर्जा खपत भी कम हो जाती है। सफाई एवं सुखाने की प्रक्रिया में, यह वेफरों को पूरी तरह साफ कर देता है – कोई निशान या अवशेष नहीं रहता। इसके परिणामस्वरूप उत्पादन दर में वृद्धि होती है, एवं उत्पादों की गुणवत्ता भी बनी रहती है।
क्या ध्यान में रखना आवश्यक है?
इन लैंपों के सही ढंग से काम करने हेतु, उच्च गुणवत्ता वाली बिजली एवं सटीक तापमान सेंसिंग आवश्यक है। एमिटर के स्पेक्ट्रम एवं ऊर्जा घनत्व को आपकी सामग्री एवं उपकरणों की ज्यामिति के अनुसार ही चुनना आवश्यक है। सेटपॉइंट तक पहुँचने में थोड़ा समय लगता है; इसलिए इसके एकीकरण हेतु उचित योजना बनाना आवश्यक है। सही तरीके से एलाइनमेंट एवं कैलिब्रेशन किया जाए, तो कम रखरखाव के साथ ही स्थिर परिणाम प्राप्त होंगे।