הפחתת פליטות הפחמן במפעלי שבבים: בעיית האוזון אם אתם מבלים זמן במפעלי שבבים, אתם יודעים עד כמה חשוב לנו לשלוט בפרופילי הטמפרטורה. אך יש בעיה נוספת...

למה אנחנו מתעקשים על בטיחות חשמלית במנורות ה-IR של חדרים נקיים בחדר נקי, אין שום מקום לטעויות – אין אבק, אין זיהום, ובוודאי שאין בעיות חשמליות....

עצירת הזמן: למה שימוש באור אינפרא-אדום עדיף על שימוש באוויר חם במפעלי ייצור בואו נדבר על מחזור האוויר החם. זו שיטה ישנה לעשיית דברים – מחממים את...

בסביבת הייצור, שינויים תרמיים במהלך תהליך החימום של החומרים האופטיים, או לחות שנשארת לאחר הניקוי, אינם רק מפחיתים את קצב הייצור – הם גם פוגעים בדיוק...

בחדר הייצור, שינוי של 0.1°C בטמפרטורה במהלך תהליך האפייה של הפוטורזיסט יכול לגרום לשינוי ברוחב הקווים על הוואפר, וכתוצאה מכך וואפרים איכותיים יכולים...

On the fab floor, photoresist bake isn’t a “best practice.” It’s a thermal commitment. A 2°C swing during soft bake or hard bake can shift critical...

תקציב תרמי הוא הדבר היחיד שבו לא מתמקחים על רצפת הייצור. חוסר יציבות באחידות הטמפרטורה במהלך RTP יזיז את עומק החיבור, ואם אפיית הפוטורזיסט לא תהיה...