On the fab floor, photoresist bake isn’t a “best practice.” It’s a thermal commitment. A 2°C swing during soft bake or hard bake can shift critical dimensions, turn wafers into scrap, and stop the line cold. You need the heat source to hit setpoint and stay there, cycle after cycle, while the chamber stays clean. מה שחשוב, מבחינה טכנית מגן הזכוכית הקוורץ בנוי לסביבות מנורות במפעל. הוא שומר על העברה יציבה לאורך IR בגלים קצרים ובינוניים, ומשאיר את החום הקרינה במקום הנכון. הרכב הקוורץ מתמודד עם זעזוע תרמי ונשאר יציב במידותיו לאורך מחזורי חימום חוזרים. בשכבת המוליכים למחצה, האחידות התרמית נשמרת ב-±0.1°C, מה שמבטיח פרופילי אפייה עקביים לפוטורזיסט. הוא מדורג לכיתות חדר נקי 1–100, עם מש Surfaces שאינם מייצרים חלקיקים ותומכים בתקופות תחזוקה צפויות. למה זה עובד בליתוגרפיה ועיבוד פוטורזיסט תפוקה תלויה בשליטה תקציבית תרמית. המגן שומר על יציבות פלט המנורה מחבל למחבל, כך שפרופילי האפייה הרכה והקשה אינם נעים. פחות חריגות, תפוקה ראשונית גבוהה יותר, פחות פסולת. השימוש בחום נעשה יעיל יותר, ולכן צריכת האנרגיה יורדת. וכאשר ספירת החלקיקים נשארת נמוכה והיציבות התרמית של המנורה מתוחזקת, נפח העצירה הבלתי מתוכננת פוחת. מה שחשוב לדעת סובלנות ההתקנה הדוקה. המגן חייב להתאים לגיאומטריית המנורה והמצע בתוך סף ההפרשים המוגדר — סטייה יוצרת נקודות חמות ופוגעת באחידות. ודאו היטב סוג הקונקטור, המתח ומידות מעטפת המנורה עבור הכלי שלכם. תוכלו לצפות לזמני חימום קצרצרים יותר, אך חשוב לבדוק את משטח הקוורץ בקביעות. תחת עומס חום גבוה, עשויים להופיע סדקים מיקרוסקופיים — יש לזהותם מוקדם.