מחמם אינפרה אדום למפתח מצופה

בקומת הליתוגרפיה, שלב האפייה אינו הרפיה – מדובר בגבול תהליך מחמיר. טמפרטורות אפייה רכה וקשיחה שחורגות אפילו במעט יכולות לשנות את פרופיל הפוטורזיסט,...