کاهش میزان کربن در کارخانههای تولید نیمههادی: چرا روش خشککردن با امواج مادون قرمز واقعاً مؤثر است؟
اگر قصد دارید به حالت بیکربنی در کارخانههای تولید نیمههادی برسید، باید به مرحله خشککردن توجه کنید. این مرحله، مصرف انرژی زیادی دارد. اکثر فرهای سنتی، هوای داغ را در سراسر محفظه پخش میکنند؛ در نتیجه، کل محفظه گرم میشود تا فقط چند ویفر خشک شوند. این کار، هدررفت انرژی است.
ما روش بهتری پیدا کردهایم: استفاده از حرارت امواج مادون قرمز.
نحوه عملکرد این روش
در عوض گرم کردن هوا، از لامپهای امواج مادون قرمز کوتاهامواج استفاده میکنیم. انرژی مستقیماً به سطح ویفرها منتقل میشود؛ هیچ واسطهای وجود ندارد. اتاق نیز گرم نمیشود.
تشعشعات این لامپها، رطوبت را از بین میبرند؛ این کار تقریباً بلافاصله اتفاق میافتد. چون نیازی نیست منتظر باشید تا هوای گرم به دمای مناسب برسد، پس انرژی زیادی صرفهجویی میشود. زمان خشک شدن ویفرها نیز کمتر میشود؛ همچنین، در حالت استراحت، ماشین انرژی مصرف نمیکند.
تنظیم مشخصات مناسب
نمیتوانید فقط چند لامپ را جایگزین کنید و فکر کنید کار تمام شده است؛ این اشتباه تازهکارانه است.
باید توان و طول موج لامپها را با ویژگیهای خاص ویفرها هماهنگ کنید. اگر طول موج لامپها با نحوه جذب انرژی توسط مولکولهای آب همخوانی نداشته باشد، در واقع فقط قاب فلزی ماشین گرم میشود؛ این کار، کارایی ندارد.
ما زمان زیادی را صرف تنظیم مواد استفاده شده در لامپها میکنیم؛ هدف ساده است: انرژی را به داخل آب برسانیم و به جای دیگری نرسانیم.
همچنین، هرچه چرخه خشککردن سریعتر باشد، لامپها کمتر انرژی مصرف میکنند. ما میزان انرژی مصرفی برای هر ویفر را ثبت میکنیم؛ چون در نهایت، این عدد تنها شاخصی است که نشان میدهد آیا میزان انتشار کربن واقعاً کاهش یافته است یا خیر.
مشکلات واقعی
البته، این روش کاملاً بدون مشکل نیست.
امواج مادون قرمز با شدت بالا، مقدار زیادی گرما تولید میکنند؛ این موضوع برای افزایش سرعت تولید مفید است، اما برای سیستم خنککنندگی مشکلساز خواهد بود. اگر سیستم خنککنندگی شما نتواند گرمای تولید شده توسط لامپها را کنترل کند، فرآیند تولید دچار ناپایداری خواهد شد.
باید تعادلی بین صرفهجویی در انرژی و استفاده از فنها و پمپهای اضافی برقرار کنید.
ما فقط به سود خالص توجه میکنیم؛ اگر میزان کل انرژی مصرفی کمتر باشد، پیروز هستید. همه چیز دیگر، فقط مزاحمت است.