در کارخانههای تولید نیمههادی، دما فقط یک پارامتر ساده برای بررسی نیست؛ بلکه خودش بخشی از فرآیند تولید است. حتی تغییر جزئی در دما میتواند باعث اختلال در عملکرد فوتورزیست شود. همچنین، دمای بالا نیز میتواند باعث تغییرات در ضخامت لایههای مورد استفاده در فرآیند تولید شود. حتی یک تغییر جزئی در دما نیز میتواند باعث کاهش کیفیت محصولات تولید شده شود.
چه چیزهایی اهمیت دارد؟
ما گرمکنهای صنعتی برای کارهای مربوط به نیمههادیها طراحی میکنیم که دارای کنترل دمایی دقیقی باشند: یکنواختی دما در منطقه گرم، در حدود ±۰.۱ درجه سانتیگراد؛ تکرارپذیری مقدار دما در حدود ۰.۲ درجه سانتیگراد؛ و تولید توان مستقیم از دمای اتاق تا ۶۵۰ درجه سانتیگراد.
عناصر هالوژنی و کوارتزی، باعث ایجاد تغییرات سریع و یکنواخت در دما میشوند. نسخههای مبتنی بر الیاف کربن نیز برای دستگاههایی که نیاز به پاسخگویی سریع دارند، مناسب هستند. توان مورد نیاز نیز متناسب با نیاز دستگاه است؛ یعنی مدارهای کنترلی ۲۴ ولتی در یک سمت، و بارهای سهفاز ۴۸۰ ولتی در سمت دیگر؛ همچنین اتصالات مورد استفاده نیز برای محیطهای پاک با استانداردهای کلاس ۱ تا ۱۰۰ مناسب هستند.
ما تعداد ذرات موجود را با بسته کردن اتصالات و استفاده از مواد با خلوص بالا، تحت کنترل نگه میداریم. هدف ما، جلوگیری از تولید هرگونه ذره، بهویژه در حین فرآیندهای لیتوگرافی، است.
چرا این گرمکنها برای فرآیند تولید ویفرها مناسب هستند؟
این گرمکنها برای انجام کارهای مختلف مانند فرآیندهای گرم کردن فوتورزیست، تمیز کردن و خشک کردن ویفرها، و همچنین مراحل حرارتی مربوط به بستهبندی، طراحی شدهاند. یکنواختی دما، کیفیت محصولات تولید شده را حفظ کرده، تغییرات در ضخامت لایهها را کاهش میدهد، و محدودیتهای کنترلی را نیز تقویت میکند.
ثبات سریع دما، زمان پروسه تولید را کاهش میدهد. استفاده از الگوهای مصرف انرژی بهینه نیز هزینههای عملیاتی را کاهش میدهد.
قابلیت اطمینان ۲۴ ساعته، از طریق سنسورهای اضافی، طراحی مقاوم در برابر شرایط سخت، و استفاده از مواد با کیفیت بالا، به دست میآید. این امر باعث کاهش توقفهای غیرمنتظره و نیازهای تعمیراتی میشود.
نکاتی که بعداً از آنها سپاسگزار خواهید بود:
نصب این گرمکنها بستگی به نوع دستگاه دارد؛ بنابراین باید ابعاد محل نصب، الگوهای جریان هوا، و رابط کنترلی را با نیازهای دستگاه تطبیق دهید. ممکن است برای تطبیق این گرمکنها با دستگاه، نیاز به تغییرات جزئی مکانیکی باشد.
از کابلهای سازگار با محیطهای پاک استفاده کنید و اتصالات را محکم نگه دارید تا از ایجاد نوسانات الکتریکی جلوگیری شود. در محیطهای پررطوبت، در هنگام راهاندازی، مقاومت عایقبندی را بررسی کنید تا از تغییرات ناگهانی دما جلوگیری شود.
نتیجه این کار، عملکرد حرارتی یکنواختی است که روز به روز در چارچوب فرآیند تولید باقی میماند.