Im Fertigungsprozess führen thermische Schwankungen während des Trocknens des Photoresists oder verbleibende Feuchtigkeit nach der Reinigung nicht nur dazu, dass die Produktivität sinkt. Zudem beeinträchtigen sie die genauen Abmessungen der Halbleiterkomponenten und verringern somit die Ausbeute. Wir haben diese Infrarotheizlampen entwickelt, um eine präzise Temperaturregelung zu gewährleisten – von Cycle zu Cycle.
Was wirklich wichtig ist
Wir verwenden Kurzwellen-Infrarotemitter mit schnell reagierenden Quarzelementen. Dadurch wird eine schnelle, gezielte Erwärmung erreicht – die Temperatur kehrt bereits in weniger als einer Sekunde wieder auf den gewünschten Wert zurück. Die Homogenität auf Waferebene liegt bei ±0,1°C, und die Wiederholgenauigkeit bleibt über mehrere Charge hinweg konstant. Das Design ist für Reinräume der Klassen 1 bis 100 geeignet – es entstehen keine Partikel, und die Gasemissionen sind gering. Die Leistung bleibt über 5.000 Stunden hinweg stabil, wobei die Intensitätsänderungen unter 5% liegen. Die Schleifensteuerung sorgt dafür, dass die Temperatur stets im gewünschten Bereich bleibt. Dank des kompakten Designs lässt sich die Lampe leicht in neue Geräte integrieren.
Warum sie in der Praxis funktioniert
Beim Trocknen der Wafer wird die Oberflächenspannung schnell reduziert – dadurch werden überschüssige Feuchtigkeitsrückstände beseitigt, und die Prozesszeiten werden verkürzt. In der Lithografie liefert die Lampe ein reproduzierbares Temperaturprofil, das für eine konstante Behandlung der Wafer erforderlich ist. Dadurch bleiben die CD-Werte sowie die Qualität der Wafer erhalten. Bei der Verpackung beschleunigt die Lampe die Aushärtung des Überzugsmaterials – dadurch wird die Zeit im Ofen verkürzt und der Energieverbrauch gesenkt. Beim Reinigen und Trocknen sorgt die Lampe dafür, dass keine Rückstände zurückbleiben. Das Ergebnis sind weniger Störungen, stabile Messwerte sowie eine Planbarkeit der Produktionszeiten.
Was man beachten muss
Diese Lampen benötigen sauberen Strom sowie genaue Temperaturmessungen, um ordnungsgemäß zu funktionieren. Passen Sie das Spektrum sowie die Leistungsdichte der Lampen an Ihre Materialien und die Geometrie der Geräte an. Rechnen Sie mit einer kurzen Aufwärmzeit, bis die Lampe den gewünschten Zustand erreicht hat. Achten Sie außerdem auf die richtige Ausrichtung und Kalibrierung – so erhalten Sie reproduzierbare Ergebnisse mit minimalem Wartungsaufwand.