Auf der Produktionsebene gilt es, bestimmte Standards einzuhalten. Schon eine Abweichung von 0,2 °C bei der Erhitzung des Fotoresists reicht aus, um die Kontrolle über die wichtigen Abmessungen zu stören. Wenn der Infrarotheizer in der Vakuumkammer seine Leistung nicht mehr voll entfalten kann, geht es nicht nur um einen Rückgang der Produktivität – auch der Zeitplan wird beeinträchtigt. Wir haben unseren Infrarotheizer so konstruiert, dass er den Anforderungen der modernen Waferverarbeitung gerecht wird, die Anforderungen an Halbleiterausrüstungen erfüllt und sich als zuverlässiges Ersatzteil bewährt.
Was wirklich wichtig ist
Wir verwenden Kurzwellen-NIR-Emitter mit schneller Reaktionszeit und präziser Spektralkontrolle. Dadurch bleibt die thermische Homogenität auf der Waferoberfläche bei ±0,1 °C. Die Wiederholgenauigkeit von einem Zyklus zum nächsten liegt bei ±0,5 °C – dadurch bleiben die Temperaturen während des Heizvorgangs konstant. Der Heizkörper ist für Reinräume der Klasse 1–100 geeignet; er verwendet Materialien mit geringer Ausgasung und eine Konstruktion, die Verunreinigungen verhindert. Die Leistung bleibt auch im Vakuum stabil, und das thermische Profil bleibt auch bei kontinuierlicher Nutzung konstant.
Warum er für die Lithografie und Fotoresistverarbeitung geeignet ist
Bei der Lithografie und Fotoresistverarbeitung ist der thermische Aufwand festgelegt. Dieser Heizer hält die eingestellten Temperaturen während der Heizvorgänge konstant – dadurch wird die Rauheit der Konturlinien verringert und die Homogenität der Abmessungen verbessert. Die Effizienz ergibt sich daraus, dass nur das Zielobjekt erhitzt wird, nicht die Wände der Kammer. Die Zuverlässigkeit bedeutet weniger ungeplante Störungen – die Geräte können in der Regel mehr als 5.000 Stunden lang ohne signifikanten Leistungsrückgang arbeiten. Für Prozessingenieure bedeutet das konsistentere Ergebnisse und weniger Nacharbeite.
Worauf man beim Einbau achten muss
Man muss sicherstellen, dass die Flansche, Steckverbinder sowie die Stromanschlüsse der Kammer miteinander kompatibel sind. Vor der Integration sollte man die Geometrie der Kammer sowie die Spannungsklasse überprüfen. Der Heizer funktioniert am besten, wenn die Wände der Kammer sauber und reflektierend bleiben – jede Art von Beschichtung oder Reststoffe kann das thermische Gleichgewicht stören. Nach dem Starten braucht es eine kurze Zeit, bis die Emittivität sowie die Steuerungsprozesse stabilisiert sind. Danach bleibt der Prozess unter Kontrolle.