Auf dem Fertigungsboden wissen Sie, wie es läuft: eine Abweichung von 0,1 °C während des Wafer-Trocknens oder des Fotoresist-Backens kann still und...

Thermisches Budget ist das eine, worüber man auf der Fertigungsebene nicht verhandelt. Ein Wackeln in der Temperaturuniformität während des RTP wird...