Wie man verhindert, dass eine defekte Lampe die Wafer zerstört
In Halbleiterfabriken ist ein Versagen einer Lampe ein Albtraum. Es geht nicht nur darum, dass die Maschine für kurze Zeit stillsteht. Wenn eine Quarztube während eines Hochlastbetriebs zerbricht, fliegen Glasscherben und Staub überall herum. Das bedeutet eine sofortige Kontamination der Wafer.
Wir haben unsere mit Gold beschichteten Infrarotlampen entwickelt, um das zu verhindern – gleichzeitig wird sichergestellt, dass genügend Wärme erzeugt wird.
Warum Gold?
Herkömmliche Quarzlampen strahlen Wärme in alle Richtungen ab – der größte Teil dieser Wärme geht einfach verloren. Wir beheben dieses Problem, indem wir eine dünne Goldschicht auf die Außenseite der Tube auftragen. Man kann sich das wie einen Spiegel vorstellen: Die Infrarotenergie wird so direkt auf die Wafer gerichtet. Dadurch entsteht eine viel intensivere Wärmeeinwirkung – ohne dass die Spannung auf gefährliche Werte erhöht werden muss. So bleibt die Quarztube vor Überlastung geschützt.
Vermeidung von Brüchen
Die meisten Brüche entstehen durch thermische Schocks oder plötzliche Hitzepunkte. Um dem entgegenzuwirken, verwenden wir hochreines synthetisches Quarzmaterial, das solche Belastungen aushalten kann. Die Goldbeschichtung hilft ebenfalls dabei, die Wärme gleichmäßiger über die Tube zu verteilen.
Aber hier ist ein wichtiger Tipp: Nutzen Sie immer einen Schutzmantel aus Quarz zusammen mit diesen Lampen. Falls die Lampe doch versagt, schützt der Mantel die Wafer vor den Scherben. Stellen Sie sicher, dass der Abstand zwischen der Lampe und dem Mantel genau gleich ist. Andernfalls entstehen Hotspots, die die Tube zu schnell zerstören können.
Kompromisse – und wie man damit umgeht
Gold sorgt dafür, dass die Lampe effizient arbeitet – doch es gibt auch Nachteile. Die Beschichtung ist empfindlich: Schon eine kleine Kratzspur kann dazu führen, dass die Wärme nicht mehr richtig reflektiert wird – was wiederum zu weiteren Hotspots führt.
Tragen Sie unbedingt Handschuhe.
Fingerabdrücke hinterlassen Öle auf dem Glas. Wenn diese Öle in die Beschichtung eindringen, entstehen dauerhafte dunkle Flecken, die das Heizeffekt beeinträchtigen.
Noch ein Hinweis bezüglich der Elektrik: Verwenden Sie ein präzises PID-Steuerungssystem. Wenn Sie die Stromzufuhr zu schnell ein- und ausschalten, verkürzen Sie die Lebensdauer jeder Hochleistungs-Lampe. Überprüfen Sie außerdem Ihre Kühlventilatoren. Wenn sie nicht für die jeweilige Hitzebelastung geeignet sind, können die Anschlüsse beschädigt werden.