Hören Sie auf, Ihre Energie zu verschwenden: Die Wahrheit über Lampen mit goldener Beschichtung
Falls Sie Halbleiterwafer verarbeiten, kennen Sie sicherlich das Frustgefühl, wenn die eingesetzte Energie einfach im Nichts verschwindet. Herkömmliche Quarzlampen sind im Grunde genommen normale Glühbirnen – sie verteilen die Energie überallhin. Der größte Teil dieser Wärme gelangt dazu in den Gehäusebereich der Maschine, anstatt direkt auf den Wafer zu wirken. Das ist eine Verschwendung.
Wir haben eine bessere Lösung gefunden: Wir kombinieren ein Doppelrohrsystem mit einer hochreflektierenden Goldbeschichtung, um diese Energieverluste zu minimieren.
Warum Gold?
Es geht nicht um den Glanz des Goldes – Gold ist einfach hervorragend darin, Infrarotstrahlung zu reflektieren. Durch die Anbringung einer dünnen Schicht von Gold auf der Rückseite der Lampe können wir die Richtung der Wärmeänderung beeinflussen. Anstelle einer 360-Grad-Verteilung wird die Energie stattdessen direkt auf den Wafer gelenkt. Dadurch erhält man mehr Leistung pro Watt – man kann somit die gewünschten Temperaturen erreichen, ohne die Stromkosten in die Höhe treiben zu müssen.
Zwei Rohre – doppelte Wärmeabgabe
Das Doppelrohrsystem ist im Grunde genommen ein „Trick“. Es ermöglicht eine doppelt so große Oberfläche für die Glühfäden, ohne dass dadurch mehr Platz benötigt wird. Das ist enorm praktisch, denn so kann man viel mehr Energie einsetzen, ohne dass die Glühfäden überlastet werden. Wenn man eine Heizquelle benötigt, die in Sekundenbruchteilen auf höhere Temperaturen gebracht werden kann, ohne auszubrennen, dann ist das genau das Richtige.
Der Kompromiss (denn nichts ist perfekt)
Wenn man die Wärme so effektiv konzentriert, werden die Bedingungen sehr intensiv. Der thermische Gradient auf dem Wafer wird sehr stark. Man muss daher besonders vorsichtig mit den PID-Reglern sein, damit es keine Hotspots gibt. Achten Sie außerdem auf Ihr Kühlungssystem – falls dieses die zurückgeworfene Energie nicht bewältigen kann, könnten die Komponenten beschädigt werden.
In Betrieb nehmen
Wir haben diese Lampen als Ersatzteile entwickelt – man braucht also keine komplizierten Anpassungen. Sie verwenden standardmäßige Industriekontaktstellen, sodass man sie einfach anschließen kann. Ein kleiner Tipp: Halten Sie die Goldbeschichtung sauber. Berühren Sie die Oberfläche nicht mit bloßen Händen. Öle und Staub von Fingern hinterlassen kleine Stellen, die die Wärme statt zu reflektieren, aufnehmen. Mit der Zeit kann das die Beschichtung zerstören. Halten Sie die Oberfläche sauber, dann halten die Lampen lange.