Sicherstellen, dass alles sicher bleibt – und nicht explodiert – beim Erwärmen chemischer Wafer
Seien wir ehrlich: Das Benutzen von IR-Lampen in chemischen Reinigungsbädern ist wie mit Feuer zu spielen. In der Luft schweben schlagfähige organische Verbindungen sowie brennbare Dämpfe. Ein einziger Funke oder eine plötzliche Erhöhung der Oberflächentemperatur kann dazu führen, dass nicht nur die Wafer zerstört werden, sondern auch eine Explosion stattfindet.
Deshalb haben wir auf den Einsatz von herkömmlichen Quarztuben verzichtet. Stattdessen verwenden wir spezielle Umhüllungen.
Der schwierige Aspekt: Die „Sicherheitslücke“
Es gilt, die Entfernung zwischen dem IR-Strahler und dem Wafer genau richtig einzustellen. Es geht nicht nur darum, eine gleichmäßige Wärmeverteilung zu erreichen, sondern auch darum, zu verhindern, dass der Raum in Brand gerät.
Wenn die Lampe zu nahe ist, besteht die Gefahr, dass die auf den Wafer gebliebenen chemischen Rückstände überhitzt werden. Das führt zur Freisetzung von Dämpfen – etwas, was wir unbedingt vermeiden müssen. Wenn die Lampe hingegen zu weit entfernt ist, sinkt die Wärmestärke, und die Prozesszeiten verlängern sich.
Wir lösen dieses Problem, indem wir spezielle Quarzumhüllungen sowie abgedichtete Gehäuse verwenden. Das fungiert wie ein physischer Schutzschild, der verhindert, dass die chemischen Dämpfe die leitenden Fasern berühren können.
Warum die Materialien wichtig sind
Wir verschließen unsere Heizelemente in Hochreinquarz- oder speziellen Glasgehäusen. Dadurch bleiben alle elektrischen Entladungen innerhalb des Gehäuses – dort, wo sie hingehören.
Außerdem setzen wir verstärkte Dichtungen an den Anschlussstellen ein. Warum? Weil korrosive Dämpfe die Kabel beschädigen können. Wenn man eine normale Lampe in eine chemische Umgebung setzt, versagen die Dichtungen nach ein paar Wochen, und die Lampe geht kaputt. Das ist eine Verschwendung von Geld. Unsere umhüllten Geräte sind so konstruiert, dass sie auch unter dem Einfluss von Säuredämpfen weiterhin funktionieren.
Die Kompromisse
Nun gibt es jedoch einen Haken: Wenn man eine Lampe in ein Schutzgehäuse packt, entsteht eine zusätzliche Schicht mit Wärmedämmwirkung. Dadurch wird die Geschwindigkeit der Wärmetransfer etwas reduziert.
Das ist zwar kein Problem, das man nicht lösen kann. Man kann das Problem in der Regel durch eine höhere Leistung der Lampe oder durch eine größere Sicherheitsentfernung beheben – solange man dabei die explosionsgeschützten Grenzwerte seines Gebäudes einhält.
Ein weiterer Tipp: Stellen Sie sicher, dass Ihr Entlüftungssystem die Dämpfe tatsächlich aus der Heizzone entfernt. So bleibt die gesamte Umgebung sicher – und Sie können beruhigt sein.