Hören Sie auf, die Wände zu erwärmen – es gibt eine bessere Methode zur Beheizung von Öfen in Reinräumen.
Ist Ihnen schon aufgefallen, dass herkömmliche Konvektionsöfen im Grunde genommen das gesamte Gerät in einen riesigen Heizkörper verwandeln? Sie erhitzen die Luft – dadurch nehmen die Innenwände des Geräts enorme Mengen an Energie auf. In einem Halbleiter-Reinraum ist das ein Albtraum: Das Gehäuse wird gefährlich heiß, und die Stromrechnung wird unverschämt hoch.
Wir haben eine bessere Lösung gefunden: Richtungsbehaftete Infrarot-Heizung.
Das Geheimnis liegt darin, dass statt der Erwärmung jeder Luftmenge im Ofen, die Infrarotlampen elektromagnetische Strahlung direkt auf das zu behandelnde Material richten. Die Energie wird erst dann in Wärme umgewandelt, wenn sie auf das Material trifft. Dadurch bleibt die Luft kühl. Die Innenwände des Geräts werden nicht zum Wärmequellen. Und am wichtigsten: Die Mitarbeiter müssen nicht das Risiko eingehen, sich durch die Hitze zu verbrennen.
Um dies zu ermöglichen, verwenden wir Kurzwellen-Infrarotstrahler. Sie dringen tief in das Material ein und reagieren schnell. Wir kombinieren sie mit präzisen Reflektoren, damit die Wärme genau dorthin gerichtet wird, wo sich die Wafer oder Substrate befinden. Alles andere bleibt kühl.
Aber Vorsicht mit der Hardware: Man muss die Leistungsregler genau einstellen. Infrarotlampen sind empfindlich – schon eine kleine Schwankung in der Spannung kann dazu führen, dass die Leistung stark ansteigt. Wenn man die Lampen zu stark belastet, können sie beschädigt werden oder die Reflektoren verformt werden. Es handelt sich dabei um ein empfindliches Gleichgewicht.
Es handelt sich zwar nicht um eine magische Lösung – es gibt einige Kompromisse. Der größte ist die „Sichtlinie“. Da die Wärme in einer geraden Linie voranschreitet, entstehen bei komplexer Geometrie oder übereinanderliegenden Elementen Schatten. Dadurch entstehen kalte Stellen, da keine Luft zirkuliert, um das auszugleichen.
Um das zu beheben, empfehlen wir通常 eine Anordnung aus mehreren Lampen, damit jeder Winkel abgedeckt wird.
Und noch etwas: Solche Hochleistungslampen verbrauchen viel Energie. Man benötigt daher separate Stromkreise. Andernfalls kann es zu elektrischem Rauschen kommen, das Ihre anderen empfindlichen Geräte stört. Das möchte man sicherlich nicht am Dienstagmorgen erleben.