Přestaňte zahřívat stěny vaší vakuové komory
Zahřívání desky uvnitř vakuové komory je opravdu problém. Pokud používáte běžné infračervené topiče, teplo se rozptyluje všude kolem. Je to nepořádek.
Výsledkem jsou „horké stěny“. Vaše drahé zařízení na výrobu polovodičů se tak stane obrovskou houbou na špatně využívanou energii. Není to jen plýtvání elektřinou – je to také bezpečnostní riziko pro každého, kdo stojí vedle stroje. Navíc může toto zahřívání časem poškodit stěny komory. To rozhodně není ideální.
Jak řešíme únik tepla
Řešíme to pomocí směrování infračerveného záření. Místo toho, abychom nechali lampu vysílat teplo do všech stran, používáme speciální reflektory a povlaky odolné vůči vakuumu, aby energie byla nasměrována přesně tam, kam potřebuje – na samotnou desku. Díky tomu zůstává teplo mimo stěny. Desku můžete zahřát na požadovanou teplotu, aniž byste museli zbytek hardwaru proměnit v zdroj tepla.
Problém s vakuem
Běžné infračervené lampy obvykle vakuumem selhají kvůli uvolňování plynů. V světě polovodičů může jediná malá částice zničit celou sérii výrobků. To je katastrofa, kterou si nemůžete dovolit.
Proto používáme vysoce čistý kvarcit a specializované těsnění. To udržuje komoru čistou. Jednoduše.
Kompromis (a jak s ním zacházet)
Existuje však jeden problém: když zaměříte paprsek, soustředíte velké množství tepla do malé oblasti. I když to ochrání vaše stěny, zvyšuje to tlak na cílový materiál. Musíte být velmi opatrní s regulátory teploty, abyste nepřekročili požadovanou teplotu. Také si ověřte chladicí systém – pokud není schopen zvládnout tak vysokou teplotu u základny lampy, vlákno v lampě se příliš rychle spálí.
Dobrá zpráva? Tyto lampy jsou navrženy tak, aby nahradily ty stávající. Hodí se přímo do vašich stávajících vakuových systémů, takže nemusíte přeprojektovávat svůj hardware, abyste dosáhli lepšího termického profilu.