На производственном участке все понятно: отклонение температуры на 0,1°C во время сушки пластин или запекания фоторезиста может незаметно снизить...

Термический бюджет — это то, с чем на производстве не принято идти на компромиссы. Колебания равномерности температуры во время RTP повлияют на...