웨이퍼 경화 램프용 반사기

기계를 가열하는 대신 웨이퍼를 직접 가열하세요. 일반적인 적외선 램프의 문제점은 열이 사방으로 퍼진다는 것입니다. 반도체 경화실에서는 이것이 큰 문제가 됩니다. 적절한 반사체가 없으면 에너지의 대부분이 장비의 내벽에 부딪히게 됩니다. 그 결과, 장비의 외부가 너무 뜨...