기계를 가열하는 대신 웨이퍼를 직접 가열하세요.
일반적인 적외선 램프의 문제점은 열이 사방으로 퍼진다는 것입니다. 반도체 경화실에서는 이것이 큰 문제가 됩니다. 적절한 반사체가 없으면 에너지의 대부분이 장비의 내벽에 부딪히게 됩니다.
그 결과, 장비의 외부가 너무 뜨거워져 사람이 다칠 수 있으며, 냉각 팬도 계속해서 과도하게 작동해야 합니다. 이는 매우 낭비적인 방식입니다.
열을 정확한 위치에 전달하기
우리는 포물선형이나 타원형의 반사체를 사용하여 적외선을 웨이퍼 쪽으로 직접 보냅니다. 마치 빛의 광선을 좁히는 것과 같습니다. 이렇게 하면 전체 장비를 거대한 오븐처럼 만드는 대신, 필요한 곳에만 열을 집중시킬 수 있습니다.
이 방식은 엄청난 차이를 만들어냅니다.
재료 선택의 중요성
아무 금속이나 사용할 수는 없습니다. 재료는 고강도의 단파 적외선을 받아도 변형되거나 산화되지 않아야 합니다. 일반적으로는 연마된 알루미늄이나 금 도금된 표면을 사용합니다. 금은 적외선 영역에서 가장 우수한 반사율을 가지고 있지만, 물론 비용도 훨씬 높습니다.
하지만 가장 중요한 것은 정밀한 정렬입니다. 램프가 몇 밀리미터만 비뚤어져 있어도 특정 부위가 과열됩니다. 그 결과, 웨이퍼가 손상될 수 있습니다.
또한 배선도 주의해야 합니다. 이러한 반사체는 효율성이 뛰어나지만, 램프 주변에 많은 열이 발생합니다. 만약 소켓과 절연체가 그러한 고온을 견디지 못한다면, 그것들은 녹아버릴 것입니다.
더 스마트하게 작업하기
열의 방향을 제대로 조절하면 두 가지 좋은 점이 있습니다. 첫째, 가열 시간이 크게 줄어듭니다. 둘째, 장비의 외부 온도도 충분히 낮아서 만질 수 있을 정도입니다.
가열 장치를 설계할 때, 단순히 더 많은 전력을 사용하는 것은 실수입니다. 반사체의 형태가 잘못되어 있다면, 더 많은 전력을 사용해도 에너지만 낭비될 뿐입니다.
형태에 집중하세요. 그러면 나머지는 자연스럽게 해결됩니다.