Đừng biến các dụng cụ xử lý wafer thành những “lò sưởi” nữa!
Khi chế tạo các dụng cụ xử lý wafer, điều cuối cùng mà bạn muốn là lãng phí năng lượng để làm nóng các bức tường bên trong thiết bị. Hầu hết các bộ phận gia nhiệt truyền thống đều phát nhiệt ra mọi hướng; điều này gây ra tình trạng “bức tường quá nóng”, khiến khung thiết bị giãn nở – và tồi tệ hơn nữa, tạo ra nguy cơ an toàn cho những người phải vận hành máy móc này.
Chúng tôi giải quyết vấn đề này bằng cách sử dụng công nghệ gia nhiệt bằng tia hồng ngoại có hướng chiếu xạ cụ thể.
Cách thức hoạt động: Hãy tưởng tượng rằng đó là một chiếc đèn pin thay vì bóng đèn thông thường. Thay vì để nhiệt tỏa ra mọi hướng, chúng tôi sử dụng các bộ phản xạ và bộ phát sóng có bước sóng cụ thể để đưa năng lượng trực tiếp vào wafer. Nhờ vậy, nhiệt được dẫn đến chỗ cần thiết, còn khung thiết bị thì vẫn giữ được nhiệt độ ổn định. Bạn có thể kiểm soát chính xác nhiệt độ cần thiết trên bề mặt wafer, mà không cần phải làm cho bên trong thiết bị trở nên quá nóng.
Tại sao điều này lại giúp ích? Đây là một giải pháp tuyệt vời cho hệ thống làm mát của bạn. Nếu sử dụng các bóng đèn thông thường, các thiết bị làm mát sẽ phải làm việc vất vả để ngăn chặn việc bức tường bị quá nóng. Nhưng khi sử dụng công nghệ gia nhiệt bằng tia hồng ngoại, nhiệt độ bên trong thiết bị sẽ giảm đáng kể. Đây là một giải pháp đơn giản, nhưng nó giúp tránh việc người vận hành bị bỏng khi mở cửa máy để bảo trì. Đó là một lợi ích lớn cho tất cả mọi người trong xưởng sản xuất.
Nhược điểm và cách khắc phục: Tuy nhiên, công nghệ này không phải là giải pháp “cắm vào là dùng được”. Công nghệ gia nhiệt bằng tia hồng ngoại yêu cầu độ chính xác cao; nếu việc lắp đặt không chính xác, bạn sẽ gặp phải những vùng lạnh trên bề mặt wafer. Để tránh điều này, bạn cần đảm bảo rằng các bộ phận lắp đặt phải cực kỳ chính xác – không được có bất kỳ sai số nào. Ngoài ra, các bóng đèn này sẽ rất nóng ở phần sợi dây tóc. Bạn không nên sử dụng dây dẫn kém chất lượng; hãy đảm bảo rằng các đầu nối có khả năng chịu được áp lực nhiệt, nếu không bạn sẽ gặp vấn đề với các đầu nối sớm thôi.