Trên dây chuyền sản xuất, sự thay đổi nhiệt độ chỉ 0,1°C trong quá trình sấy phim quang học cũng có thể khiến độ dày của các lớp vật liệu thay đổi, từ đó biến những wafer tốt thành rác thải. Đèn hồng ngoại dùng để kiểm soát nhiệt độ được thiết kế nhằm ngăn chặn sự thay đổi nhiệt độ này ngay từ đầu. Thiết bị này được thiết kế để kiểm soát nhiệt độ ở mức cao, với độ chính xác cao, và đây chính là tiêu chuẩn cần tuân thủ.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật
Chúng tôi sử dụng các bộ phát ánh sáng hồng ngoại loại quartz-halogen; chúng được điều chỉnh sao cho năng lượng được truyền trực tiếp vào phim quang học và các lớp vật liệu mỏng. Hệ thống này giúp duy trì độ đồng đều của nhiệt độ trên bề mặt wafer ở mức ±0,1°C trên diện tích 150–300 mm. Thời gian cần thiết để đạt được nhiệt độ mong muốn là dưới 2 giây. Độ lặp lại của nhiệt độ trong quá trình sấy dao động trong khoảng ±0,5°C, giúp đảm bảo độ chính xác của các kích thước quan trọng của wafer.
Đầu đèn được thiết kế để hoạt động trong môi trường sạch loại Class 1–100. Nó được chế tạo từ các vật liệu ít phát khí và có cấu trúc giúp kiểm soát số lượng hạt bụi. Không có hạt bụi nào được tạo ra trong quá trình sấy theo chu kỳ tiêu chuẩn.
Tại sao thiết bị này hiệu quả trong sản xuất
Trong các dây chuyền sản xuất lithography, quá trình sấy diễn ra một cách ổn định – không có điểm nóng hay sai lệch về nhiệt độ ở các vùng khác nhau. Điều này giúp giảm chi phí tái xử lý và nâng cao tỷ lệ sản phẩm tốt. Việc sử dụng năng lượng cũng giảm xuống vì ánh sáng hồng ngoại chỉ làm nóng các lớp vật liệu, chứ không phải bản thân wafer. Thiết bị này có thể hoạt động 24/7, với thời gian hoạt động lên tới hàng chục nghìn giờ, và thời gian bảo trì được lên lịch phù hợp với thời gian ngừng máy theo kế hoạch, chứ không phải do sự cố khẩn cấp.
Những điều cần lưu ý khi sử dụng
Đèn này hoạt động tốt với các giao diện tiêu chuẩn của SEMI. Tuy nhiên, việc tích hợp thiết bị vào hệ thống đòi hỏi phải chọn vật liệu phù hợp cho phần chuck và bộ phản xạ ánh sáng. Bạn cần thực hiện một vài bước kiểm tra ban đầu để điều chỉnh độ phát sáng và xác định các vùng cần được kiểm soát.
Một rào cản là sự ảnh hưởng của nhiệt độ giữa các khu vực khác nhau. Khi sử dụng nhiều loại vật liệu khác nhau trên cùng một thiết bị, cần có những vùng bảo vệ để tránh sự ảnh hưởng của nhiệt độ giữa các khu vực này.