Bảo vệ an toàn khi gia nhiệt các tấm wafer hóa chất
Hãy thành thật mà nói: việc sử dụng đèn hồng ngoại để làm nóng các tấm wafer hóa chất giống như việc chơi với lửa vậy. Trong không khí luôn có các hợp chất hữu cơ dễ bắt lửa và các khí dễ cháy. Chỉ cần một tia lửa nhỏ hay sự gia tăng nhiệt độ đột ngột thôi, bạn sẽ phải đối mặt với nguy cơ nổ.
Đó là lý do tại sao chúng tôi ngừng sử dụng các ống thạch anh thông thường. Thay vào đó, chúng tôi sử dụng các vỏ bọc chuyên dụng để bảo vệ các bộ phận gia nhiệt.
Vấn đề khó khăn liên quan đến “khoảng cách an toàn”
Việc xác định khoảng cách phù hợp giữa bộ phận phát sóng hồng ngoại và tấm wafer là một việc khá khó khăn. Điều quan trọng không chỉ là đảm bảo nhiệt độ được phân bố đều, mà còn phải đảm bảo rằng không xảy ra tình trạng cháy nổ.
Nếu đèn quá gần tấm wafer, nó có thể làm nóng quá mức các chất hóa học còn sót lại trên tấm wafer. Điều này dẫn đến việc các chất hóa học bay hơi, và đó chính là điều chúng ta muốn tránh. Nhưng nếu đèn quá xa, mật độ nhiệt sẽ giảm, và thời gian gia nhiệt sẽ tăng lên.
Chúng tôi giải quyết vấn đề này bằng cách sử dụng các vỏ bọc bằng thạch anh chất lượng cao. Điều này giúp ngăn các khí hóa học tiếp xúc với các sợi dây điện.
Tại sao chất liệu lại quan trọng?
Chúng tôi bảo vệ các bộ phận gia nhiệt bằng thạch anh hoặc các loại thủy tinh chất lượng cao. Điều này giúp ngăn các tia điện bên trong ống thạch anh.
Chúng tôi cũng lắp đặt các gioăng kín ở các điểm kết nối. Tại sao? Bởi vì các khí ăn mòn có thể phá hủy các dây điện. Nếu bạn sử dụng đèn thông thường trong môi trường hóa chất, các gioăng kín sẽ bị hỏng, và đèn sẽ nhanh chóng hỏng sau vài tuần. Đó là sự lãng phí tiền bạc. Các thiết bị của chúng tôi được thiết kế để chịu đựng được các khí ăn mòn mà không bị hỏng.
Những điều cần lưu ý
Khi bạn bọc đèn trong vỏ bảo vệ, bạn sẽ tạo thêm một lớp cản nhiệt. Điều này khiến tốc độ truyền nhiệt giảm đi một chút so với việc sử dụng ống thạch anh thông thường.
Tuy nhiên, đó không phải là vấn đề lớn. Bạn có thể khắc phục điều này bằng cách tăng công suất đèn hoặc điều chỉnh khoảng cách an toàn – miễn là bạn tuân thủ các quy định về an toàn chống nổ của nhà máy.
Một mẹo nhỏ: hãy đảm bảo rằng hệ thống thông gió của bạn có thể hút các khí hóa học ra khỏi khu vực gia nhiệt. Điều này giúp bảo vệ toàn bộ khu vực và mang lại sự yên tâm cho bạn.