Зменшення викидів вуглецю на етапі виробництва напівпровідників: проблема озону
Якщо ви коли-небудь працювали на заводі з виробництва напівпровідників, ви знаєте, наскільки важливо контролювати температурний режим у приміщенні. Але існує ще одна проблема, пов’язана зі стандартними лампами короткохвильового ІЧ-опромінювання. Вони схильні випромінювати світло з довжиною хвилі менше 200 нм, і саме це створює проблеми.
Це світло спричиняє утворення озону в повітрі. Це, звісно, дратує, але справжньою проблемою є високі витрати на енергію. Системи опалення та вентиляції мусать працювати постійно, щоб очищувати повітря та підтримувати безпечні умови. Це значне марнування енергії.
Рішення? Уникати утворення озону з самого початку.
Ми досягаємо цього за допомогою спеціалізованих кварцових оболонок чи внутрішніх покриттів, які слугують захистом. Вони блокують світло з довжиною хвилі 185 нм – саме ту частину спектру, яка розщеплює молекули кисню.
Ви все одно отримуєте необхідну кількість тепла, але без хімічних побічних продуктів. Таким чином, системи вентиляції не мусять боротися з непотрібним теплом, а витрати на енергію зменшуються.
Тепер поговоримо про ефективність. Ці лампи швидко нагріваються. Саме це і потрібно під час обробки напівпровідникових пластин. Оскільки енергія концентрується у інфрачервоному діапазоні, тепло потрапляє прямо на поверхню пластини.
Але є одна порада: слідкуйте за щільністю енергії. Лампи без озону з високою потужністю можуть завдати шкоди обладнанню, якщо його корпус не призначений для такого рівня тепла. Рекомендую використовувати з ними точні контролери PID. Це допоможе уникнути перегріву обладнання.
Найкраще те, що це сприяє скороченню викидів вуглецю. Це подвійна перевага: по-перше, пряме нагрівання є значно ефективнішим, ніж традиційні конвекційні печі. По-друге, оскільки у приміщенні не утворюється озон, не потрібно використовувати потужні системи вентиляції.
Це простий спосіб досягнення цілей щодо скорочення викидів вуглецю, без всіх звичайних проблем, пов’язаних з використанням таких технологій.