Role Sahada durum bellidir: Wafer kurutma veya fotoresist pişirme sırasında 0.1°C’lik bir sapma hat verimini sessizce yok edebilir. Isıtıcı, arka...

Thermal budget, fab alanında kesinlikle taviz verilmeyen tek unsurdur. RTP sırasında sıcaklık homojenliğindeki bir dalgalanma, eklem derinliğinizi...