Vakum odasının duvarlarını ısıtmayı bırakın.
Vakum odasının içindeki yarı iletken parçaları ısıtmak oldukça zor bir iştir. Eğer standart radyant ısıtıcılar kullanıyorsanız, ısı her yere dağılır. Bu da karmaşaya neden olur.
Sonuç olarak duvarlar aşırı derecede ısınır. Pahalı yarı iletken ekipmanlarınız, gereksiz enerjinin biriktiği yer haline gelir. Bu sadece elektrik israfı değil; aynı zamanda makinenin yanında bulunan kişiler için de bir güvenlik riskidir. Ayrıca zamanla vakum odasının duvarları da deform olabilir. Bu hiç de ideal değil.
Isı sızıntısını nasıl çözüyoruz?
Bunu, kızılötesi ışınları yönlendirerek çözüyoruz. Lambanın ısısını her yöne yaymasına izin vermek yerine, belirli yansıtıcılar ve vakuma uygun kaplamalar kullanarak bu enerjiyi tam olarak ihtiyaç duyulan yere yönlendiriyoruz: yani yarı iletken parçanın üzerine. Böylece ısı duvarlara ulaşmaz. Yarı iletken parçanızı istenen sıcaklığa getirebilirsiniz, ancak diğer ekipmanlarınız ısı kaynağı haline gelmez.
Vakum sorunu
Standart kızılötesi lambaların sorunu şudur: Vakum ortamında gaz salınımı nedeniyle bu lambalar genellikle bozulur. Yarı iletken endüstrisinde tek bir küçük parçacık bile tüm üretimi bozabilir. Bu, kabul edilemez bir durumdur.
Bu yüzden yüksek saflıkta kuvars ve özel mühürler kullanıyoruz. Böylece vakum odası temiz kalır.
Avantajlar ve dezavantajlar (ve bunlarla nasıl başa çıkılır?)
Elbette bir dezavantaj var. Işını yoğunlaştırdığınızda, çok fazla ısı küçük bir alana odaklanır. Bu sayede duvarlar korunmuş olur, ancak hedef malzeme üzerinde büyük bir baskı oluşur. PID kontrol cihazlarını dikkatli kullanmalısınız ki hedef sıcaklığı aşmayın. Ayrıca soğutma sistemini de kontrol etmelisiniz. Eğer soğutma sistemi lambanın ürettiği yoğun ısıya dayanamıyorsa, filaman çok erken yanacaktır.
İyi haber şu ki, bu lambaları mevcut vakum sistemlerine kolayca entegre edebiliyoruz. Böylece daha iyi bir ısı yönetimi elde etmek için ekipmanlarınızı yeniden tasarlamanıza gerek kalmaz.