Duvarları ısıtmayı bırakın: Temiz oda fırınlarını daha iyi çalıştırmanın yolu
Standart konveksiyon fırınlarının aslında tüm cihazı devasa bir radyatöre çevirdiğini fark ettiniz mi? Bu fırınlar havayı ısıtır; bu da ekipmanın iç duvarlarının büyük miktarda enerji absorbe etmesine neden olur. Yarı iletken üretim odalarında bu durum tam bir felaket anlamına gelir. Ekipmanın dış yüzeyleri tehlikeli derecede sıcak hale gelir ve elektrik faturası da mantıksız seviyelere ulaşır.
Daha iyi bir yöntem bulduk: Yöneltilebilir kızılötesi ısıtma.
İşte sır burada: Fırındaki her birim hacmi ısıtmak yerine, kızılötesi lambalar elektromanyetik radyasyonu doğrudan iş parçasına yönlendirir. Enerji, işlenecek malzemeyle temas edene kadar ısıya dönüşmez. Böylece hava soğuk kalır. Ekipmanın iç yüzeyleri de ısı kaynağı haline gelmez. En önemlisi de, operatörlerin ekipmanın yakınında dururken yanma riski olmaz.
Bunu gerçekleştirmek için kısa dalga boylu kızılötesi vericiler kullanıyoruz. Bunlar derinlere nüfuz eder ve hızlı tepki verir. Isıyı tam olarak wafer veya substratın bulunduğu yere yönlendirmek için hassas yansıtıcılar kullanıyoruz. Diğer her şey ise soğuk kalır.
Ancak donanım konusunda dikkatli olmak gerekir. Güç kontrol cihazlarını tam olarak doğru ayarlamanız gerekir. Kızılötesi lambalar oldukça hassastır; voltajdaki küçük bir değişiklik bile güç tüketiminde büyük artışlara neden olabilir. Lambaları aşırı zorlarsanız, lambalar yanabilir veya yansıtıcılar bozulabilir. Bu oldukça hassas bir denge gerektirir.
Elbette bu bir sihirli çözüm değil. Bazı dezavantajları var. En büyük sorun “görüş hattı”dır. Isı düz bir çizgide ilerlediğinden, karmaşık geometriler veya üst üste gelen parçalar gölgeler oluşturur. Hava dolaşımı olmadığı için soğuk noktalar oluşur.
Bunu çözmek için genellikle her açının kapsandığından emin olmak amacıyla çoklu lamba dizileri öneriyoruz.
Son olarak: Bu yüksek güçlü sistemler çok fazla elektrik tüketir. Özel devreler kullanmanız gerekir. Aksi takdirde, diğer hassas ekipmanlarınız da etkilenebilir. Salı sabahları böyle bir sorunla uğraşmak istemezsiniz.