Neden temiz oda ısıtıcılarında zorunlu hava akışı yerine kızıl ötesi teknolojisi kullanıyoruz?
Eğer yarı iletken üretimi alanında biraz bile zaman geçirdiyseniz, “vagonun ısınmasını beklemek”ten kaynaklanan sıkıntıyı biliyorsunuzdur. Bu, oldukça yaygın bir sorundur.
Eski sistemlerde genellikle sıcak hava dolaşımı kullanılır. Sorun şu ki bu yöntem çok yavaştır. Önce havayı ısıtmak gerekiyor, ardından hava vagonu ısıtıyor ve son olarak da vagon wafer taşıyıcıyı ısıtıyor. Isının gerçekten gerekli olduğu yere ulaşması için uzun süre beklemek gerekiyor. Bu da tüm süreci yavaşlatıyor.
Aracıyı ortadan kaldırma
Kızıl ötesi ısıtma yöntemiyle bu durum değişiyor. Hava ile uğraşmak yerine, kızıl ötesi ışınları doğrudan malzemenin içine gönderiliyor. Böylece daha hızlı ısınma sağlanıyor. Bir atölyeyi zorunlu hava akışından kızıl ötesi sistemlere geçirdiğimizde, ısınma süresi dakikalardan saniyelere düşüyor. Yüksek kapasiteli üretim tesislerinde bu tasarruflar hızla birikiyor. Böylece her vardiya boyunca daha fazla wafer işlenebiliyor.
Temizi ve sessizliği koruma
Bir diğer avantaj ise temiz oda koşullarının korunmasıdır. Zorunlu hava akışı aslında devasa bir toz üfleyicisidir; her yeri karıştırır ve bu da yoğun filtreleme ve sürekli bakım gerektirir. Kızıl ötesi sistemler ise sessizdir. Hiçbir parça hareket etmez; arızalanacak fan veya tıkanacak filtre yoktur. Ayrıca ekipmanların boyutları daha küçük olduğundan daha fazla alan kazanılır.
Bir başka avantaj ise ısı yoğunluğudur. Isıyı vagonun belirli bölgelerine yönlendirebilirsiniz. Bu sayede taşıyıcının dengesiz şekilde genişlemesi engellenir; bu da hassasiyet konusunda endişe duyanlar için büyük bir rahatlama olur.
Eksiklikler
Ancak kızıl ötesi teknoloji de mükemmel değildir. Açık bir görüş hattına ihtiyaç vardır. Eğer vagonun şekli tuhafsa veya derin bölmeleri varsa, radyasyon her yere ulaşamaz. Sonuç olarak soğuk noktalar oluşur.
İşte bu yüzden bu sistemleri doğrudan kullanamayız. Emittörlerin nereye yerleştirileceğini belirlemek için zaman harcamamız gerekiyor. Eğer lamba yükün çok yakınındaysa, taşıyıcının yüzeyi yanabilir. Ayrıca, sıcaklık aniden arttığında hızlı tepki verebilecek PID kontrol cihazlarına da ihtiyaç vardır.