Pare de transformar suas ferramentas para processamento de wafers em “fornos”
Quando se constrói uma ferramenta para processamento de wafers, a última coisa que se quer é desperdiçar energia aquecendo as paredes internas da ferramenta.
A maioria dos elementos de aquecimento tradicionais dispersa o calor em todas as direções. Isso é problemático: as paredes ficam quentes demais, o que faz com que a estrutura da máquina se expanda – e, pior ainda, cria um risco real de segurança para quem precisa trabalhar com a máquina.
Nós resolvemos isso de maneira diferente. Usamos aquecimento por infravermelho direcional.
Como funciona na prática
Pense nisso como uma lanterna, em vez de uma lâmpada comum. Em vez de deixar o calor se espalhar por toda parte, utilizamos refletores e emissores de onda específicos para direcionar essa energia diretamente para o wafer.
O calor vai exatamente para onde precisa ir. A estrutura da máquina permanece fria. Você consegue obter a temperatura exata desejada no substrato, sem que o interior da máquina fique quente demais.
Por que isso facilita as coisas
Isso é uma grande vantagem para o sistema de resfriamento da máquina.
Se você usar lâmpadas convencionais, seus sistemas de resfriamento terão dificuldades em manter as paredes da máquina sob controle. Eles terão que trabalhar muito mais. Mas, ao direcionar o calor, a temperatura interna da máquina diminui significativamente.
É uma solução simples, mas significa que os operadores não sofrerão queimaduras ao abrir a câmara para manutenção. Isso é bom para todos que trabalham na oficina.
As desvantagens (e como lidar com elas)
Porém, isso não é algo que funcione “de imediato”. O aquecimento por infravermelho direcional é preciso, o que significa que exige cuidados especiais.
Se o alinhamento da lâmpada estiver errado, mesmo que seja por alguns milímetros, haverá pontos frios no wafer. Isso é frustrante. Para evitar isso, é preciso garantir que os suportes de montagem estejam bem fixados – sem nenhum desvio possível.
Além disso, essas lâmpadas ficam extremamente quentes em seu filamento. Não economize nos cabos elétricos. Certifique-se de que os conectores sejam adequados para suportar a carga térmica, caso contrário, você enfrentará problemas com os terminais queimados mais cedo do que gostaria.