Stop het verwarmen van de wanden van je vacuümkamer
Het verwarmen van een wafer in een vacuümkamer is een flinke uitdaging. Als je standaard stralingsverwarmers gebruikt, gaat de warmte overal naartoe. Dat zorgt voor veel chaos.
Het gevolg? “Hete wanden”. Je dure halfgeleiderapparatuur wordt dan in feite een soort spons voor overtollige energie. Het is niet alleen verspilling van elektriciteit, maar ook een veiligheidsrisico voor degene die zich in de buurt van de machine bevindt. Bovendien kunnen de wanden van de kamer op den duur beschadigen. Dat is zeker niet ideaal.
Hoe wij het probleem oplossen
Wij lossen dit op door gebruik te maken van infraroodstraling. In plaats van dat de lamp warmte in alle richtingen afgeeft, gebruiken we speciale reflectoren en coatingen die ervoor zorgen dat de energie precies waar nodig terechtkomt: op het substraat.
Op deze manier blijft de warmte bij het substraat en raken de wanden niet beschadigd. Je kunt je wafer dus op de gewenste temperatuur brengen, zonder dat de rest van je apparatuur oververhit raakt.
Het probleem met vakuum
Standaard infraroodlampen werken meestal niet in een vacuüm, vanwege uitstoot van gassen. In de halfgeleidertechnologie kan één klein deeltje al voldoende zijn om een hele batch te bederven. Dat is een ramp die je je niet kunt veroorloven.
Daarom gebruiken we kwarts van hoge zuiverheid en speciale sluitingen. Hierdoor blijft de kamer schoon. Punt.
De nadelen en hoe je ermee om moet gaan
Er is echter wel een nadeel: wanneer je de straling concentreert, komt er veel warmte op één plek terecht. Hoewel dit de wanden beschermt, zorgt het wel voor veel meer druk op het materiaal dat wordt verhit. Je moet dus goed opletten met de PID-regelaars, zodat je de gewenste temperatuur niet overschrijdt. Controleer ook goed je koelsysteem. Als dit niet bestand is tegen de grote hoeveelheid warmte die wordt gegenereerd, zal het filament te snel beschadigen.
Goed nieuws: we hebben deze lampen zo ontworpen dat ze als vervanging kunnen dienen voor bestaande lampen. Ze passen perfect in je bestaande vacuümsystemen, zodat je je apparatuur niet hoeft te herontwerpen om een beter thermisch profiel te krijgen.