Stop met het omtoveren van je wafergereedschappen in ovens
Wanneer je een wafergereedschap bouwt, is het laatste wat je wilt energie verspillen aan het opwarmen van de binnenwanden.
De meeste traditionele verhittingselementen sturen warmte in alle richtingen. Dat is rommelig. Er ontstaan “heiße wanden” die ervoor zorgen dat het frame van het apparaat uitzet – en nog erger: het vormt een echte veiligheidsrisico voor degene die aan de machine moet werken.
Wij lossen dit op een andere manier op. We gebruiken richtingsgebonden infraroodverwarming.
Hoe het eigenlijk werkt
Stel je voor dat het om een zaklamp gaat in plaats van een gloeilamp. In plaats van dat de warmte overal naartoe gaat, gebruiken we speciale reflectoren en golflengte-emitters om de energie rechtstreeks naar de wafer te sturen. De warmte gaat waar ze naartoe moet. Het chassis blijft koel. Je krijgt precies de gewenste temperatuur op het substraat, zonder dat de binnenkant van het apparaat op een sauna lijkt.
Waarom dit het leven gemakkelijker maakt
Dit is een enorme verbetering voor het koelsysteem. Als je standaardlampen gebruikt, moeten de koelapparaten hard werken om te voorkomen dat de wanden te heet worden. Ze werken dus onder druk. Maar wanneer je de warmtestroom richting de wafer stuurt, daalt de temperatuur in het apparaat aanzienlijk.
Het is een simpele oplossing, maar het betekent dat je monteurs niet gebrand raken wanneer ze de kamer openen voor onderhoud. Dat is een voordeel voor iedereen op de productielijn.
De nadelen (en hoe je hiermee omgaat)
Het is natuurlijk geen “plug and play”-oplossing. Richtingsgebonden infraroodverwarming is erg nauwkeurig, maar dat betekent ook dat het gevoelig is voor kleine fouten. Als de positie van de lampen maar enkele millimeters afwijkt, ontstaan er koude plekken op de wafer. Dat is frustrerend. Om dit te voorkomen, moet je ervoor zorgen dat de bevestigingsbrackets stevig zijn – er mag geen enkele afwijking zijn.
Nog een punt: deze lampen worden enorm heet bij het filament. Gebruik geen goedkope kabels. Zorg ervoor dat je connectoren bestand zijn tegen de thermische belasting, anders kun je snel te maken krijgen met kapotte verbindingen.