
Het behouden van de veiligheid wanneer chemische wafers worden verhit
Laten we eerlijk zijn: het gebruiken van IR-lampen boven chemische reinigingsvloeistoffen is net alsof je met vuur speelt. Er hangen immers vluchtige organische verbindingen en brandbare dampen in de lucht. Eén kleine vonk of een plotselinge stijging van de oppervlaktetemperatuur kan tot een explosie leidden.
Daarom hebben we opgehouden met het gebruik van gewone kwartsbuizen. In plaats daarvan maken we gebruik van gespecialiseerde behuizingen.
Het moeilijke gedeelte: het vinden van de juiste afstand
Het vinden van de perfecte afstand tussen de IR-emitter en de wafer vereist veel precisie. Het gaat niet alleen om het gelijkmatig verspreiden van de warmte, maar ook om te voorkomen dat de ruimte in brand komt.
Als de lamp te dichtbij staat, loopt het risico dat de chemische resten op de wafer oververhit raken. Dit leidt tot het vrijkomen van gassen, wat we juist willen voorkomen. Maar als de lamp te ver weg staat, neemt de warmtedichtheid af en gaan de verwerkingstijden toenemen.
Om dit op te lossen, gebruiken we speciale kwartsbehuizingen. Dit zorgt er namelijk voor dat de chemische dampen nooit in contact komen met de gloeiende draden.
Waarom de materialen belangrijk zijn
We bewaren onze verwarmings-elementen in buizen van hoge zuiverheid of speciaal glas. Hierdoor blijven elektrische bogen binnen de buis gevangen. Ook gebruiken we versterkte sluitingen op de aansluitpunten. Waarom? Omdat corrosieve gassen de kabels kunnen beschadigen. Als je een gewone lamp in een chemische omgeving plaatst, zullen de sluitingen na een paar weken kapotgaan en zal de lamp uitvallen. Dat is zonde van het geld. Onze behuizingen zijn ontworpen om bestand te zijn tegen zure gassen.
De compromissen
Er is echter wel een nadeel: wanneer je een lamp in een beschermende behuizing plaatst, wordt er extra thermische weerstand toegevoegd. Hierdoor zal de warmte trager worden overgedragen vergeleken met een gewone buis.
Maar dit is geen groot probleem. Je kunt dit meestal oplossen door de vermogen van de lamp te verhogen of de afstand tussen de lamp en de wafer te vergroten – zolang je maar binnen de veiligheidsnormen van je faciliteit blijft.
En nog een tip: zorg ervoor dat je afvoersysteem de dampen uit de verhitte zone haalt. Op deze manier blijft de hele ruimte veilig en hoef je je geen zorgen te maken.