Berhenti bergantung pada cara pemanasan konvensional: Cara yang lebih baik untuk memanaskan wafer
Saya masih melihat banyak kilang semikonduktor yang menggunakan kaedah pemanasan udara panas. Ini merupakan cara yang biasa digunakan, terutamanya dalam fasiliti yang sudah lama dibina. Namun, mari kita akui bahawa kaedah ini sangat lambat.
Apabila kita menggunakan kaedah pemanasan konvensional, kita sebenarnya perlu memanaskan seluruh bilik hanya untuk memanaskan wafer tersebut. Prosesnya sangat lambat, dan ia juga membazir tenaga. Selain itu, ia akan mengurangkan masa pengeluaran setiap kali proses pengeluaran dilakukan.
Cara yang lebih cepat? Penggunaan sinar inframerah.
Pemanasan menggunakan sinar inframerah tidak memerlukan udara sebagai medium pemanasan. Sebaliknya, tenaga disalurkan secara langsung ke permukaan bahan tersebut melalui radiasi elektromagnetik. Bayangkanlah seperti sinar matahari yang menyentuh kulit kita pada hari yang sejuk – kita akan merasakan haba tersebut dengan segera, walaupun udara di sekeliling kita sangat sejuk.
Kita tidak perlu menunggu kipas untuk mengalirkan udara. Sebaliknya, tenaga disalurkan terus ke bahan tersebut melalui foton. Prosesnya sangat cepat.
Namun, perkakasan yang digunakan sangat penting. Untuk memastikan kaedah ini berfungsi dengan baik, kita perlu menggunakan kabel yang dilapisi Teflon. Mengapa? Kerana gradien haba yang dihasilkan sangat tinggi. Insulasi biasa akan cair atau rosak akibat haba tersebut. Kita menggunakan Teflon kerana ia tahan terhadap haba, kimia, dan boleh mengekalkan fungsi litar elektrik walaupun pemanas beroperasi pada tahap maksimum.
Apa manfaatnya bagi kilang anda?
Masa yang diperlukan untuk proses pengeluaran akan berkurangan, kerana inersia termal dapat dikurangkan. Mesin-mesin juga akan menggunakan ruang yang lebih sedikit, kerana kita tidak perlu menggunakan saluran udara yang besar serta kipas yang bising.
Namun, ia bukanlah penyelesaian yang sempurna. Ada beberapa kelemahan. Sinar inframerah hanya berfungsi dalam satu arah sahaja. Udara panas akan menyelimuti objek seperti selimut, tetapi sinar inframerah pula berfungsi seperti cahaya sorot. Jika kedudukan lampu tidak tepat, akan ada kawasan yang tidak mendapat haba yang cukup.
Jika anda bekerja dengan bentuk-bentuk yang kompleks, anda tidak boleh sekadar menukar pemanas sahaja. Anda perlu merancang pengagihan haba dengan teliti, dan mungkin perlu mengubah susunan komponen agar semua bahagian mendapat suhu yang sama.
Walaupun memerlukan perancangan yang lebih rapi, kelajuan yang diperoleh pasti berbaloi dengan usaha yang dilakukan.