
Smettete di riscaldare le pareti della camera a vuoto
Riscaldare una lastra all’interno di una camera a vuoto è davvero un problema. Se si utilizzano dei riscaldatori a radiazioni tradizionali, il calore si disperde ovunque. È un sistema disorganizzato e inefficiente.
Il risultato? Pareti troppo calde. Il vostro costoso strumento per la lavorazione dei semiconduttori diventa, di fatto, uno “straccio” per l’energia inutile. Non si tratta soltanto di uno spreco di elettricità: rappresenta anche un rischio per chi si trova vicino alla macchina. Inoltre, con il tempo, le pareti della camera possono deformarsi. Non è affatto ideale.
Come risolviamo il problema del calore in eccesso
Per risolvere questo problema, utilizziamo i raggi infrarossi direzionali. Invece di far sì che il calore venga disperso in tutte le direzioni, utilizziamo riflettori specifici e rivestimenti resistenti al vuoto per indirizzare quell’energia esattamente dove è necessaria: sul substrato su cui viene lavorata la lastra.
In questo modo, il calore non colpisce più le pareti. La lastra può essere riscaldata senza che il resto dell’hardware venga surriscaldato.
Il problema legato al vuoto
I problemi legati alle lampade a radiazioni tradizionali sono legati al fenomeno dell’emissione di gas nel vuoto. Nel mondo dei semiconduttori, anche una piccolissima quantità di particelle può rovinare l’intera produzione. È un disastro che non si può permettere.
Ecco perché utilizziamo quarzo ad alta purezza e sigilli speciali. Questi elementi mantengono la camera pulita. Punto.
I compromessi da prendere in considerazione
C’è però un problema: quando si concentra il calore in un punto specifico, si crea una grande pressione sul materiale su cui viene applicato il calore. Bisogna quindi prestare molta attenzione ai controller PID, per evitare che la temperatura superi i limiti consentiti. Inoltre, è necessario verificare attentamente il sistema di raffreddamento: se non è progettato per gestire quel calore concentrato, il filamento potrebbe bruciarsi molto prima del previsto.
La buona notizia? Abbiamo progettato queste lampade in modo che possano essere sostituite direttamente nelle attuali installazioni. Si adattano perfettamente ai sistemi esistenti, quindi non è necessario modificare l’hardware per ottenere un miglior controllo termico.