Riduzione delle emissioni di carbonio nelle fabbriche di semiconduttori: il problema dell’ozono
Se avete trascorso del tempo in una fabbrica di semiconduttori, sapete quanto sia importante prestare attenzione ai profili termici. Tuttavia, esiste un problema nascosto legato alle lampade a microonde standard: esse tendono a emettere radiazioni con lunghezze d’onda inferiori a 200 nm, e è proprio in questo punto che iniziano i problemi.
Quella luce stimola la produzione di ozono nell’aria. È sicuramente un problema fastidioso, ma il vero problema è rappresentato dal costo energetico elevato. I sistemi di ventilazione devono funzionare a pieno regime per purificare l’aria e mantenere le condizioni necessarie per garantire la sicurezza. Si tratta quindi di uno spreco enorme di energia.
La soluzione? Evitare fin dall’inizio la produzione di ozono.
Per farlo, utilizziamo involucri in quarzo o rivestimenti interni che fungono da scudo protettivo. Essi bloccano le radiazioni con lunghezze d’onda di 185 nm, ovvero quella parte dello spettro che provoca la separazione delle molecole di ossigeno. In questo modo si ottiene tutta la densità termica necessaria, senza però produrre sottoprodotti chimici. I sistemi di ventilazione non devono più lottare contro queste condizioni negative, e il consumo energetico diminuisce drasticamente.
Ora parliamo delle prestazioni. Queste lampade raggiungono velocemente la temperatura desiderata. È esattamente ciò di cui si ha bisogno quando si vuole riscaldare o curare i wafer. Poiché l’energia viene concentrata nella banda infrarossa, il calore viene trasferito direttamente sul substrato.
Tuttavia, è importante prestare attenzione alla densità energetica. Le lampade senza ozono ad alta potenza possono causare problemi se il sistema di dissipazione del calore non è adeguato. Vi consiglio vivamente di abbinarle a controller PID precisi: così potrete evitare di superare la temperatura desiderata e proteggere i vostri dispositivi.
Il vantaggio principale è rappresentato dall’impatto positivo su criteri ambientali. Si tratta di una soluzione efficace per ridurre le emissioni di carbonio, senza dover affrontare i soliti problemi legati all’utilizzo di sistemi di ventilazione troppo potenti.