Resistenza del sistema industriale di asciugatura dei wafer
Sulla linea di produzione, conoscete bene la dinamica: un’escursione di 0,1°C durante l’asciugatura del wafer o la cottura del photoresist può...
Lampada alogena per sistema RTP
Il budget termico è l’unica cosa con cui non si può negoziare nel reparto di produzione. Un’oscillazione nell’uniformità della...