על רצפת המפעל אתם מכירים את התהליך: סטייה של 0.1°C במהלך ייבוש וופרים או אפיית פוטורזיסט עלולה להשפיע ישירות על התפוקה בקו. החימום אינו סתם רכיב נוסף...

תקציב תרמי הוא הדבר היחיד שבו לא מתמקחים על רצפת הייצור. חוסר יציבות באחידות הטמפרטורה במהלך RTP יזיז את עומק החיבור, ואם אפיית הפוטורזיסט לא תהיה...