Éviter que les lampes ne provoquent la destruction de vos wafer
Dans un environnement de production à forte charge, la panne d’une lampe n’est pas simplement une source d’ennui : c’est un véritable cauchemar. Lorsqu’un tube en verre se brise, des éclats de verre et des résidus chimiques tombent sur les wafer. En un instant, toute la production est détruite. Ensuite, il reste à passer des heures à nettoyer la chambre de production. Personne ne veut ça.
Gérer la chaleur
Nos lampes infrarouges sont conçues pour résister à de fortes sollicitations. Lorsque l’on varie rapidement la tension électrique, la différence de température entre le filament et la paroi du tube est énorme. Ce genre de contrainte peut provoquer la fissuration du verre bon marché. Pour éviter cela, nous utilisons du quartz fusionné de haute pureté. Ce matériau ne gonfle ni ne se contracte presque pas, ce qui permet au tube de rester intact, même lorsque la puissance est maximale.
Ajouter une couche de protection
Les lampes standard exposent à de grands risques. Nous prenons des mesures supplémentaires en ajoutant une couche de protection ou un revêtement extérieur en quartz. Cela fonctionne comme un système de secours : si le tube intérieur se brise ou que l’élément chauffant cesse de fonctionner, la couche extérieure retient tous les débris. Les particules restent donc piégées dans cette couche, et vos wafer restent propres.
L’aspect électrique
Une erreur courante est l’existence de connexions lâches. Celles-ci provoquent des arcs électriques, ce qui crée des points chauds extrêmement intenses, ce qui finit par faire exploser le tube. Nous utilisons des terminaux adaptés pour garantir une connexion solide. Mais vous devez également faire votre part : assurez-vous que l’alimentation électrique fournit bien la tension requise par la lampe. Il est tentant de suralimenter la lampe pour obtenir plus de chaleur, mais cela ne fait qu’accroître la durée de vie limitée de la lampe et augmenter le risque de sa panne.
Le compromis
Il y a bien sûr un compromis à accepter : l’ajout de ces couches de protection signifie que moins de lumière infrarouge atteint les wafer. La vitesse de chauffage sera donc légèrement inférieure par rapport à celle obtenue avec un tube sans protection. C’est un petit prix à payer pour avoir l’esprit tranquille. Mais vous devrez peut-être ajuster les temps de chauffe ou ajouter davantage de lampes pour maintenir un taux de production optimal.