در فرآیند تولید، اختلافات دمایی ناشی از حرارت در حین پخت فوتورزیست، یا رطوبت باقیمانده پس از شستشو، تنها مانعی برای افزایش سرعت تولید نیست؛ بلکه باعث تغییر ابعاد مهم قطعات و کاهش بازدهی تولید نیز میشود. ما این لامپهای گرمایشی مادونقرمز را طوری طراحی کردهایم که کنترل دما در جای مناسب خود باقی بماند؛ یعنی در محدوده استانداردهای تعیینشده، در هر چرخه تولید.
چه چیزهایی اهمیت دارند؟ ما از منابع تابش مادونقرمز با عناصر کوارتزی با پاسخگویی سریع استفاده میکنیم. در نتیجه، گرمایش سریع و دقیق و بازیابی دما در کمتر از چند ثانیه امکانپذیر میشود. یکنواختی دما در سطح ویفر به حدود ±۰.۱ درجه سانتیگراد میرسد؛ همچنین، تکرارپذیری عملکرد لامپ در تمام محمولهها بالا است. این لامپها با استانداردهای اتاقهای پاک، از کلاس ۱ تا کلاس ۱۰۰، سازگار هستند؛ همچنین، تولید هیچ ذرهای در فرآیند استفاده از لامپ وجود ندارد و میزان گازهای تولیدشده نیز کم است. خروجی لامپ در طول بیش از ۵٬۰۰۰ ساعت کار، پایدار باقی میماند؛ تغییرات شدت نور لامپ نیز کمتر از ۵٪ است. کنترل حلقه بسته، کنترل دما را دقیق نگه میدارد؛ همچنین، اندازه کوچک لامپ، استفاده از آن در ابزارهای جدید را آسان میکند.
چرا این لامپها در شرایط واقعی مؤثر هستند؟ در فرآیند خشک کردن ویفر، گرمای تمرکزشده، کشش سطحی را به سرعت کاهش میدهد؛ در نتیجه، زمان لازم برای خشک شدن ویفر کمتر میشود و سرعت تولید افزایش مییابد. در فرآیند لیتوگرافی، این لامپها پروفایل دمایی قابل تکراری را فراهم میکنند؛ در نتیجه، کنترل ابعاد ویفر و پایداری پروفایل دمایی حفظ میشود. در فرآیند بستهبندی، این لامپها سرعت خشک شدن مواد را افزایش میدهند؛ در نتیجه، زمان ماندن ویفر در فر برای خشک شدن کمتر شده و مصرف انرژی نیز کاهش مییابد. در فرآیندهای شستشو و خشک کردن، این لامپها باعث میشوند که ویفر کاملاً تمیز شود؛ بدون هیچ اثری روی سطح ویفر. در نتیجه، تغییرات دمایی کمتر شده و پایداری عملکرد افزایش مییابد.
نکاتی که باید در نظر گرفت: این لامپها برای عملکرد صحیح، به برق پاک و سنسورهای دمای دقیق نیاز دارند. باید طیف تابش و چگالی انرژی لامپ را با ویژگیهای مواد و ابزارهای مورد استفاده هماهنگ کرد. انتظار داشته باشید که لامپ برای رسیدن به دمای مورد نظر، زمان کوتاهی نیاز داشته باشد؛ همچنین، باید مسیر تابش لامپ و عایقبندی حرارتی را در نظر گرفت. با تنظیم صحیح موقعیت و کالیبراسیون لامپ، میتوانید نتایج قابل تکراری دریافت کنید، و نیاز به تعمیرات کمتری خواهید داشت.