چرا از سیستمهای گرمایشی با هوای فشرده، به سمت سیستمهای گرمایشی مبتنی بر امواج مادون قرمز روی آوردهایم؟
اگر تجربه کار در فرآیندهای پردازش نیمههادی را داشته باشید، میدانید که صبر کردن برای گرم شدن وسایل مورد استفاده، چقدر آزاردهنده است. این یک مشکل کلاسیک در این فرآیندهاست.
بیشتر سیستمهای قدیمی از هوای گرم برای گرم کردن وسایل استفاده میکنند. مشکل این است که این روش کند عمل میکند؛ ابتدا باید هوا گرم شود، سپس هوا وسایل را گرم کند، و در نهایت وسایل، ویفرها را گرم کنند. این روش باعث میشود مدت زمان زیادی صرف انتظار برای رسیدن گرما به محل مورد نظر شود؛ این موضوع مانعی برای پیشرفت کل فرآیند است.
حذف واسطهها
سیستمهای گرمایشی مبتنی بر امواج مادون قرمز، روش کاری متفاوتی دارند؛ در این روش، انرژی مستقیماً به مواد منتقل میشود. این روش بسیار سریعتر است. وقتی که از سیستمهای هوای فشرده به سیستمهای مبتنی بر امواج مادون قرمز روی میآوریم، زمان لازم برای گرم شدن وسایل از دقایق به ثوانی کاهش مییابد. در کارخانههایی که حجم تولید بالاست، این صرفهجویی در زمان، تأثیر زیادی خواهد داشت؛ در نتیجه، میتوانیم تعداد بیشتری ویفر را در هر شیفت پردازش کنیم.
حفظ تمیزی و سکوت
یکی دیگر از مزایای این سیستمها، حفظ تمیزی و سکوت محیط است. سیستمهای هوای فشرده، در واقع یک دستگاه برای پراکندن گرد و غبار هستند؛ این امر باعث میشود که نیاز به فیلترهای زیاد و تعمیرات مداوم وجود داشته باشد. اما سیستمهای مبتنی بر امواج مادون قرمز، بدون صدا کار میکنند؛ هیچ چیز در حال حرکت نیست، و هیچ فنی برای خراب شدن وجود ندارد. علاوه بر این، ابزارهای مورد استفاده در این سیستمها کوچکتر هستند، بنابراین میتوانیم فضای بیشتری را در اختیار داشته باشیم.
چگالی گرما
یکی دیگر از مزایای این سیستمها، چگالی گرما است؛ میتوانیم گرما را به نقاط خاصی از وسایل هدایت کنیم. این کار باعث میشود که وسایل به طور یکنواخت گرم شوند؛ این موضوع برای کسانی که نگران دقت کار هستند، بسیار مفید است.
معایب
البته، امواج مادون قرمز جادویی نیستند؛ برای کارکرد صحیح، نیاز به خط دید واضحی وجود دارد. اگر وسایل دارای شکل عجیبی باشند، امواج مادون قرمز نمیتوانند به تمام نقاط وسایل برسند؛ در نتیجه، نقاط سردی در وسایل ایجاد میشود.
به همین دلیل، نمیتوانیم این سیستمها را به سادگی نصب کنیم؛ باید زمانی را صرف تعیین دقیق محل قرارگیری امواج مادون قرمز کنیم. اگر فاصله لامپ از وسایل خیلی کم باشد، سطح وسایل خراب خواهد شد. همچنین، نیاز به کنترلکنندههای PID وجود دارد تا بتوانند به سرعت واکنش نشان دهند؛ زیرا وقتی دما افزایش مییابد، این اتفاق به سرعت رخ میدهد.