در سالن تولید، پخت فوتورزیست یک «بهترین روش» نیست. این یک تعهد حرارتی است. نوسان ۲ درجه سلسیوس در طول پخت نرم یا پخت سخت میتواند ابعاد بحرانی را تغییر داده، ویفرها را به ضایعات تبدیل کرده و خط تولید را متوقف کند. منبع حرارتی باید به نقطه تنظیم برسد و در آنجا بماند، چرخه به چرخه، در حالی که محفظه تمیز نگه داشته میشود.
جنبههای فنی مهم
شیلد شیشه کوارتز برای شرایط چراغهای سالن تولید طراحی شده است. این شیلد انتقال پایدار در طول موج کوتاه و موج متوسط IR را حفظ میکند و گرمای تابشی را در محل مورد نظر نگه میدارد. ترکیب کوارتز شوک حرارتی را تحمل کرده و در چرخههای حرارتی مکرر ابعاد خود را ثابت نگه میدارد.
در صفحه ویفر، یکنواختی حرارتی تا ±۰.۱ درجه سلسیوس کنترل میشود، که این میزان یکنواختی باعث ایجاد پروفایلهای پخت فوتورزیست ثابت میشود. این شیلد برای کلاس اتاق تمیز ۱–۱۰۰ رتبهبندی شده و سطوح آن ذرات را ریزش نمیدهند و از فواصل تعمیر و نگهداری پیشبینیپذیر پشتیبانی میکنند.
چرایی عملکرد در لیتوگرافی و فرایند فوتورزیست
بازده محصول وابسته به کنترل بودجه حرارتی است. این شیلد خروجی چراغ را در هر دسته به شکل قابل تکرار حفظ میکند، بنابراین پروفایلهای پخت نرم و پخت سخت انحراف پیدا نمیکنند. کاهش نوسانات، افزایش بازده مرحله اول و کاهش ضایعات.
حرارت به شکل بهینهتری استفاده میشود، بنابراین مصرف انرژی کاهش مییابد. همچنین وقتی شمار ذرات پایین باشد و پایداری حرارتی چراغ حفظ گردد، زمان توقفهای ناخواسته کاهش مییابد.
نکاتی که باید بدانید
تلرانس نصب بسیار دقیق است. شیلد باید مطابق با هندسه چراغ و سابستریت در محدودههای تعیین شده قرار گیرد—عدم همراستایی نقاط داغ ایجاد میکند و یکنواختی را از بین میبرد. نوع کانکتور، ولتاژ و ابعاد پوسته چراغ دستگاه خود را دوباره بررسی کنید.
زمان گرم شدن کوتاهتر خواهد بود اما برنامهریزی کنید تا سطح کوارتز را به صورت دورهای بازرسی کنید. در بار حرارتی بالا، ممکن است ترکهای میکرو ایجاد شود—آنها را زود تشخیص دهید.