Deje de calentar las paredes de su cámara de vacío
Calentar una oblea dentro de una cámara de vacío es una verdadera molestia. Si utiliza calentadores radiantes convencionales, el calor se distribuye por todas partes. Es un desastre.
El resultado? Paredes muy calientes. Su costoso equipo para semiconductores se convierte, en esencia, en una especie de esponja que absorbe energía inútil. No solo es un desperdicio de electricidad, sino que también representa un riesgo para quienes están cerca de la máquina. Con el tiempo, esto puede incluso deformar las paredes de la cámara. No es nada ideal.
Cómo resolvemos el problema del calor excesivo
Para solucionarlo, utilizamos lámparas infrarrojas dirigidas. En lugar de permitir que el calor se disperse en todas direcciones, usamos reflectores específicos y recubrimientos adecuados para dirigir esa energía exactamente donde se necesita: sobre el sustrato. Al concentrar el calor en un punto específico, este no afecta a las paredes de la cámara. De esta manera, puede alcanzar la temperatura deseada sin que el resto del equipo se convierta en un disipador de calor.
El problema del vacío
El problema con las lámparas IR convencionales es que suelen deteriorarse en condiciones de vacío debido a la liberación de gases. En el mundo de los semiconductores, una sola partícula pueden arruinar todo un lote de productos. Eso es un desastre del cual no se puede permitir que ocurra.
Por eso utilizamos cuarzo de alta pureza y sellos especiales. Así, la cámara permanece limpia. Punto.
Las consecuencias negativas y cómo manejarlas
Hay un inconveniente: al concentrar el calor en un punto específico, se genera mucha presión sobre el material objetivo. Es necesario tener mucho cuidado con los controladores PID para no superar la temperatura deseada. También hay que verificar bien el sistema de enfriamiento. Si no está diseñado para soportar ese calor concentrado en la base de la lámpara, el filamento se quemará rápidamente.
La buena noticia es que hemos diseñado estas lámparas para que sean reemplazos directos. Se adaptan perfectamente a sus sistemas de vacío existentes, por lo que no necesita rediseñar su equipo para obtener un mejor rendimiento térmico.