Hören Sie auf, die Wände der Vakuumkammer zu erhitzen! Das Erhitzen einer Wafer innerhalb einer Vakuumkammer ist wirklich ein Problem. Wenn man...

Auf der Produktionsebene gilt es, bestimmte Standards einzuhalten. Schon eine Abweichung von 0,2 °C bei der Erhitzung des Fotoresists reicht aus, um...