
ভ্যাকুয়াম চেম্বারের দেয়ালগুলোকে উত্তপ্ত করা বন্ধ করুন।
ভ্যাকুয়াম চেম্বারের ভিতরে ওয়েফারগুলোকে উত্তপ্ত করা খুবই কঠিন। যদি আপনি সাধারণ রেডিয়েন্ট হিটার ব্যবহার করেন, তাহলে তাপশক্তি সর্বত্র ছড়িয়ে যায়। এটা অত্যন্ত ঝামেলাজনক।
ফলাফল? চেম্বারের দেয়ালগুলো উত্তপ্ত হয়ে যায়। আপনার দামী সেমিকন্ডাক্টর যন্ত্রগুলো অপচয়কৃত শক্তির জন্য ব্যবহৃত হয়। এটা শুধুমাত্র বিদ্যুৎ-অপচয় নয়; বরং যন্ত্রটির পাশে থাকা ব্যক্তিদের জন্যও নিরাপত্তাঝুঁকি। দীর্ঘমেয়াদে এটা চেম্বারের দেয়ালগুলোকেও ক্ষতিগ্রস্ত করতে পারে। এটা কোনোভাবেই ভালো নয়।
আমরা কীভাবে এই সমস্যার সমাধান করি?
আমরা ইনফ্রারেড রশ্মিগুলোকে নির্দিষ্ট দিকে পাঠানোর মাধ্যমে এই সমস্যার সমাধান করি। ল্যাম্পটি থেকে তাপশক্তি সর্বত্র ছড়িয়ে যাওয়ার পরিবর্তে, আমরা নির্দিষ্ট রিফ্লেক্টর ও ভ্যাকুয়াম-সুরক্ষিত কোটিং ব্যবহার করি; যাতে তাপশক্তিটি ঠিক সেখানেই যায়—অর্থাৎ ওয়েফারটির কাছে।
এভাবে দেয়ালগুলো উত্তপ্ত না হয়। আপনি আপনার ওয়েফারটিকে নির্ধারিত তাপমাত্রায় উত্তপ্ত করতে পারেন; আর আপনার অন্যান্য হার্ডওয়্যারগুলো অপচয়কৃত শক্তির শিকার হবে না।
ভ্যাকুয়াম সংক্রান্ত সমস্যা
সাধারণ ইনফ্রারেড ল্যাম্পগুলো ভ্যাকুয়ামে ব্যবহার করলে গ্যাস নির্গমনের কারণে নষ্ট হয়ে যায়। সেমিকন্ডাক্টর শিল্পে একটি ছোট্ট কণাও পুরো উৎপাদন প্রক্রিয়াকে ধ্বংস করতে পারে। এটা অত্যন্ত বড় ধরনের সমস্যা।
এই কারণেই আমরা উচ্চ-বিশুদ্ধতার কোয়ার্টজ ও বিশেষ ধরনের সিল ব্যবহার করি। এতে চেম্বারটি পরিষ্কার থাকে।
সুবিধা ও অসুবিধা (এবং এগুলো কীভাবে মোকাবিলা করা যায়?)
এখানে একটি অসুবিধা রয়েছে। যখন আপনি তাপশক্তিকে নির্দিষ্ট দিকে পাঠান, তখন অল্প জায়গায় অনেক তাপশক্তি জমা হয়। এতে লক্ষ্যবস্তুটির উপর অনেক চাপ পড়ে। আপনাকে PID কন্ট্রোলারগুলো সাবধানে ব্যবহার করতে হবে; যাতে লক্ষ্যতাপমাত্রা অতিক্রম না হয়। আর আপনার কুলিং জ্যাকেটটিও ভালোভাবে পরীক্ষা করুন। যদি এটা ল্যাম্পের তাপশক্তি সহ্য করতে না পারে, তাহলে ফিলামেন্টটি দ্রুত নষ্ট হয়ে যাবে।
ভালো খবর হলো, আমরা এই ল্যাম্পগুলোকে এমনভাবে ডিজাইন করেছি যাতে এগুলো আপনার বর্তমান ভ্যাকুয়াম চেম্বারগুলোর সাথে সহজেই ব্যবহার করা যায়। তাই আপনাকে আর আপনার হার্ডওয়্যারগুলো পুনর্ডিজাইন করার দরকার নেই।