http://smart-qz-ir-heater.com/zh/tags/%E8%8A%AF%E7%89%87/ Recent content in 芯片 on Smart Quartz Infrared Heaters Hugo zh Wed, 24 Jun 2026 01:37:28 +0800 http://smart-qz-ir-heater.com/zh/posts/chip-on-wafer-infrared-lamp/ Wed, 24 Jun 2026 01:37:28 +0800 http://smart-qz-ir-heater.com/zh/posts/chip-on-wafer-infrared-lamp/ <p><img src="http://smart-qz-ir-heater.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="晶圆上芯片红外线灯"></p> <p>在芯片制造过程中，光刻胶烘烤时即使温度出现0.1°C的波动，也足以导致芯片的线条宽度发生变化，从而使原本合格的芯片变成废品。因此，<a href="https://o-yate.net">我们设计了</a>这种红外灯，旨在从源头避免这种温度波动。该系统能够在150–300毫米的芯片表面上实现±0.1°C的精确温度控制，而<a href="https://goldisgood.com">且能在</a>2秒内达到设定温度。从温和烘烤到剧烈烘烤的过程中，温度重复性仍可保持在±0.5°C左右，从而确保关键尺寸的稳定性。</p> <p><strong>技术上的关键点</strong> 该系统使用近红外石英-卤素光源，其能量能够直接作用于光刻胶和薄膜上。该系统能够使150–300毫米大小的芯片表面的温度保持在±0.1°C范围内，且能在2秒内达到设定温度。从温和烘烤到剧烈烘烤的过程中，温度重复性仍可保持在±0.5°C左右，从而确保关键尺寸的稳定性。</p>