http://smart-qz-ir-heater.com/vi/tags/rtp/ Recent content in RTP on Smart Quartz Infrared Heaters Hugo vi Thu, 04 Jun 2026 01:24:12 +0800 http://smart-qz-ir-heater.com/vi/posts/halogen-lamp-for-rtp-system/ Thu, 04 Jun 2026 01:24:12 +0800 http://smart-qz-ir-heater.com/vi/posts/halogen-lamp-for-rtp-system/ <p><img src="http://smart-qz-ir-heater.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="Đèn halogen cho hệ thống RTP"></p> <p>Ngân sách nhiệt là điều bạn không thể thương lượng trên sàn sản xuất. Một sự rung lắc trong độ đồng nhất nhiệt độ trong quá trình RTP sẽ ảnh hưởng đến độ sâu tiếp giáp của bạn, và nếu quá trình nướng photoresist chệch đi chỉ vài độ, bạn có thể quên kiểm soát độ rộng đường. Đèn halogen ở trung tâm của hệ thống RTP? Đó là nơi mà kỷ luật nhiệt bắt đầu.</p>