Phụ tùng bộ phận đốt nóng Axcelis

Mon, 08 Jun 2026 03:09:10 +0800

Trên dây chuyền 300mm, sai số nhiệt không phải là vấn đề “có thể xảy ra”—mà là vấn đề khiến dây chuyền phải dừng lại. Một bước nung không đạt chuẩn, và kích thước quan trọng sẽ thay đổi trên toàn bộ wafer. Đó là hàng giờ làm việc bị mất trắng. Các linh kiện mạch gia nhiệt Axcelis được thiết kế để giữ ổn định cấu hình nhiệt, ca làm việc này qua ca làm việc khác.

Điểm quan trọng bên trong