Hãy ngừng việc sử dụng các lò sưởi thông thường để làm nóng máy móc, và thay vào đó hãy sử dụng chúng để làm nóng các tấm wafer. Đây chính là vấn đề của các bóng đèn hồng ngoại thông thường: chúng phát ra nhiệt ở mọi hướng. Trong phòng xử lý chất bán dẫn, điều này thật kinh khủng. Nếu không có bộ phản xạ tốt, phần lớn năng lượng sẽ bị tiêu hao vào các bức tường bên trong thiết bị.
Kết quả là, thân máy trở nên quá nóng đến mức có thể làm bỏng người sử dụng, còn các quạt làm mát thì phải hoạt động hết công suất để giảm nhiệt. Đó là sự lãng phí năng lượng.
Đưa nhiệt lượng đến đúng nơi cần thiết
Chúng tôi sử dụng các bộ phản xạ dạng parabol hoặc elip để chiếu ánh sáng hồng ngoại trực tiếp vào các tấm wafer. Có thể coi đó như việc thu hẹp chùm tia nhiệt. Thay vì biến toàn bộ thiết bị thành một “lò nướng khổng lồ”, chúng ta có thể tập trung nhiệt lượng vào chính nơi cần thiết.
Điều này mang lại hiệu quả rất lớn.
Về vật liệu sử dụng
Bạn không thể sử dụng bất kỳ loại kim loại nào. Vật liệu phải có khả năng chịu được nhiệt độ cao mà không bị biến dạng hay oxy hóa. Thông thường, chúng tôi sử dụng kim loại nhôm được đánh bóng hoặc bề mặt được mạ vàng. Vàng là vật liệu tốt nhất để phản xạ ánh sáng hồng ngoại, tuy nhiên giá thành của nó khá cao.
Nhưng điều quan trọng nhất là việc căn chỉnh chính xác vị trí của bộ phản xạ. Nếu bóng đèn bị lệch vài milimet, bạn sẽ gặp phải những điểm nóng, dẫn đến việc xử lý chất bán dẫn không đồng đều, và từ đó làm hỏng các tấm wafer.
Ngoài ra, hãy chú ý đến các dây điện. Các bộ phản xạ này rất hiệu quả trong việc tập trung nhiệt lượng, nhưng chúng cũng tạo ra nhiều nhiệt lượng xung quanh đầu bóng đèn. Nếu các đầu nối và lớp cách điện không chịu được nhiệt độ cao, chúng sẽ bị tan chảy. Rất đơn giản thôi.
Làm việc một cách thông minh, chứ không phải cố gắng quá mức
Khi bạn căn chỉnh đúng hướng của nhiệt lượng, hai điều sẽ xảy ra: thời gian cần thiết để làm nóng giảm đáng kể, và bề mặt bên ngoài của thiết bị vẫn giữ được nhiệt độ vừa phải, có thể chạm vào được.
Nếu bạn đang thiết kế một bộ phận làm nóng, đừng chỉ tăng công suất của bóng đèn. Đó là sai lầm của những người mới bắt đầu. Nếu hình dạng của bộ phản xạ không chính xác, việc tăng công suất chỉ làm lãng phí điện năng và biến phòng sạch thành một “phòng sauna”.
Hãy tập trung vào hình dạng của bộ phản xạ. Mọi thứ còn lại sẽ tự khắc được giải quyết.