http://smart-qz-ir-heater.com/th/tags/%E0%B8%8A%E0%B8%B4%E0%B8%9B/ Recent content in ชิป on Smart Quartz Infrared Heaters Hugo th Wed, 24 Jun 2026 01:37:28 +0800 http://smart-qz-ir-heater.com/th/posts/chip-on-wafer-infrared-lamp/ Wed, 24 Jun 2026 01:37:28 +0800 http://smart-qz-ir-heater.com/th/posts/chip-on-wafer-infrared-lamp/ <p><img src="http://smart-qz-ir-heater.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="หลอดไฟอินฟราเรดแบบชิปบนวейเวอร์"></p> <p>ในโรงงานผลิตชิป การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิเพียง 0.1°C ระหว่างกระบวนการอบฟอโตเรซิสต์ ก็อาจส่งผลให้ความกว้างของเส้นที่ใช้ในการผลิตเปลี่ยนไป และทำให้ชิปที่มีคุณภาพดีกลายเป็นชิปที่ไม่สามารถใช้งานได้ ดังนั้นจึงมีการออกแบบหลอดไฟอินฟราเรดสำหรับใช้ในการควบคุมอุณหภูมิ เพื่อป้องกันการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมินี้ตั้งแต่ต้นทาง เราออกแบบหลอดไฟนี้ขึ้นมาเพื่อควบคุมอุณหภูมิในระดับวงแหวนชิป โดยมีข้อจำกัดด้านอุณหภูมิที่ค่อนข้างต่ำ และความสามารถในการทำซ้ำก็เป็นสิ่งสำคัญ</p> <p><strong>สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค</strong><br> เราใช้หลอดไฟอินฟราเรดชนิดควอตซ์-ฮาโลเจน ซึ่งถูกปรับแต่งให้พลังงานส่งผ่านเข้าสู่ฟอโตเรซิสต์และฟิล์มบางๆ ได้โดยตรง ระบบนี้สามารถรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิในระดับ ±0.1°C บนพื้นผิววงแหวนชิปที่มีขนาด 150–300 มม. ได้ และสามารถถึงค่าอุณหภูมิที่กำหนดได้ภายในเวลาไม่เกิน 2 วินาที ความสามารถในการทำซ้ำอุณหภูมิจากการอบแบบอ่อนไปจนถึงการอบแบบแข็งอยู่ที่ ±0.5°C ดังนั้นขนาดของชิปจึงยังคงสม่ำเสมอ</p> <p>หัวหลอดไฟนี้เหมาะสำหรับใช้ในห้องปลอดฝุ่นระดับ Class 1–100 โดยมีการใช้วัสดุที่มีการปล่อยก๊าซน้อย และมีระบบควบคุมฝุ่นอย่างดี มีการตรวจสอบว่าไม่มีฝุ่นเกิดขึ้นระหว่างกระบวนการอบตามมาตรฐาน</p> <p><strong>เหตุใดจึงเหมาะสำหรับการใช้งานในโรงงานผลิต</strong><br> ในกระบวนการผลิตชิป โปรไฟล์การอบจะมีความสม่ำเสมอ ไม่มีจุดที่มีอุณหภูมิสูงเกินไป หรือมีอุณหภูมิที่สูงเกินไปที่ขอบวงแหวนชิป ดังนั้นจึงช่วยลดการต้องทำชิปใหม่ และช่วยให้อัตราการผลิตสูงขึ้น นอกจากนี้ การใช้พลังงานก็ลดลง เพราะหลอดไฟอินฟราเรดจะทำให้ฟิล์มร้อนขึ้น ไม่ใช่วัสดุที่ใช้ในการถ่ายโอนความร้อน ความน่าเชื่อถือของหลอดไฟนี้สามารถใช้งานได้ตลอด 24/7 โดยมีอายุการใช้งานหลายหมื่นชั่วโมง และมีช่วงเวลาในการบำรุงรักษาที่สอดคล้องกับเวลาหยุดทำงานที่วางแผนไว้ ไม่ใช่เวลาฉุกเฉิน</p> <p><strong>สิ่งที่ควรพิจารณา</strong><br> หลอดไฟนี้สามารถใช้งานได้กับอินเทอร์เฟซมาตรฐานของ SEMI แต่การติดตั้งจำเป็นต้องปรับให้วัสดุที่ใช้ในการยึดวงแหวนชิปและรูปร่างของกระจกสะท้อนเหมาะสมกับแผ่นอบด้วย คุณจะต้องทำการปรับแต่งหลอดไฟเพื่อให้ได้ค่าการส่งผ่านพลังงานที่เหมาะสม และระบุพื้นที่ที่จะใช้ในการอบ</p> <p>ข้อจำกัดหนึ่งคือปัญหาเรื่องความร้อนที่ส่งผลกระทบต่อกัน เมื่อมีการใช้ฟิล์มหลายชนิดร่วมกันในเครื่องเดียวกัน จำเป็นต้องมีการกำหนดพื้นที่ที่มีความร้อนสูงเกินไปไว้ด้วย</p> <iframe width="560" height="315" src="https://www.youtube.com/embed/bItlzG5NYJE?feature=oembed" title="หลอดไฟอินฟราเรดแบบชิปบนวейเวอร์" frameborder="0" allow="accelerometer; [autoplay](https://goldisgood.com); clipboard-write; encrypted-media; [gyroscope](https://o-yate.net); picture-in-picture; web-share" referrerpolicy="strict-origin-when-cross-origin" allowfullscreen></iframe>