Нагреватель промышленной системы сушки пластин

Tue, 09 Jun 2026 01:33:22 +0800

На производственном участке все понятно: отклонение температуры на 0,1°C во время сушки пластин или запекания фоторезиста может незаметно снизить выход продукции линии. Нагреватель — это не просто еще одна коробка на заднем плане, он задаёт тепловой бюджет, который определяет точность управления размерными характеристиками в литографии. Мы разработали промышленный нагреватель для системы сушки пластин, учитывая эту реальность, где точность технологического процесса не допускает компромиссов, а незапланированные простои напрямую приводят к браку пластин.

Что важно с технической точки зрения
Мы используем излучатели коротковолнового инфракрасного спектра в конструкции на основе кварца, чтобы обеспечивать быстрый и чистый нагрев с низкой тепловой инерцией. Это позволяет достигать однородности температуры по поверхности запекания на уровне ±0,1°C, что даёт возможность жестко контролировать временные интервалы мягкого и твёрдого запекания. Система спроектирована для работы в чистых помещениях с классом от 1 до 100, обеспечивая нулевую генерацию частиц и низкое выделение паров. Повторяемость температуры сохраняется от партии к партии и изо дня в день, что предотвращает дрейф критических размеров.

Галогенная лампа для системы RTP

Thu, 04 Jun 2026 01:24:12 +0800

Термический бюджет — это то, с чем на производстве не принято идти на компромиссы. Колебания равномерности температуры во время RTP повлияют на глубину перехода, а если температура отжига фоторезиста отклонится даже на пару градусов, контроль ширины линий окажется невозможным. Тот галогеновый ламповый элемент в центре системы RTP? Именно там начинается термическая дисциплина.

Что важно под капотом
Мы специфицируем галогеновые лампы с коротковолновым излучением, чтобы энергия эффективно передавалась в слой пластин. Это обеспечивает быстрый разгон температуры без превышения, а кварцевый баллон сохраняет вакуум и химическую стабильность из цикла в цикл. В пределах технологического окна равномерность температуры на уровне пластин держится в пределах ±0,1°C, а воспроизводимость сохраняется от партии к партии.
В чистой комнате класса 1–100 сборка лампы с фильтрацией и материалы с низким выделением газов минимизируют образование частиц, благодаря чему количество дефектов остается стабильным. Размеры лампы и интерфейс соответствуют стандартным камерам RTP, что упрощает интеграцию и обеспечивает стабильность термической связи.

Система on Smart Quartz Infrared Heaters

Нагреватель промышленной системы сушки пластин

Галогенная лампа для системы RTP