Инфракрасный нагреватель для разработчика покрытия

Sat, 06 Jun 2026 01:47:43 +0800

На литографическом этаже процесс выпечки не является перерывом — это строгая граница процесса. Температуры мягкой и жесткой выпечки, которые отклоняются даже на доли градуса, могут исказить профиль фоторезиста, нарушить контроль критических размеров и привести к снижению выхода продукции. Когда ваша линия нанесения/разработки работает 7×24, термостойкость не является «приятным дополнением». Это ограничение, которое поддерживает честность фабрики.

Что действительно имеет значение, с технической точки зрения

Мы построили инфракрасный обогреватель для линии нанесения/разработки на основе коротковолновых NIR источников — быстрая реакция, точный тепловой контроль. Цель состоит в том, чтобы достичь однородности на уровне подложки ±0.1°C, чтобы стабильность выпечки фоторезиста сохранялась по всему окну выпечки. Это предотвращает отклонения в поведении от линии к линии и от партии к партии. Обогреватель совместим с чистыми помещениями класса 1–100 и не генерирует частицы, что позволяет удерживать уровень загрязнения там, где он должен быть: вдали от поверхности подложки.

Покровный Материал on Smart Quartz Infrared Heaters

Инфракрасный нагреватель для разработчика покрытия

Что действительно имеет значение, с технической точки зрения