Вафля on Smart Quartz Infrared Heaters

Энергоэффективный нагреватель для пластин

Wed, 01 Jul 2026 07:59:11 +0800

На производственной линии процесс сушки фотополимера — это не просто ещё один этап в производстве. Это критически важный момент, в котором определяется успех или неудача всего процесса. Изменение температуры на 1°C во время процедуры сушки может привести к изменению ширины линий на пластине; при этом пластина покидает линию производства с скрытыми дефектами, которые проявляются только при электрических тестах. Для поддержания стабильной температуры используются энергоэффективные нагреватели, что помогает избежать неоправданных потерь энергии.

Мы разработали нагреватель на основе быстрореагирующей радиационной системы, которая обеспечивает быструю стабилизацию температуры без выхода за заданные параметры. Равномерность температуры по всей активной поверхности пластины составляет ±0,1°C, что гарантирует одинаковые условия для всех участков пластины. Конструкция нагревателя соответствует требованиям чистых помещений класса 1: поверхности и уплотнения выбраны таким образом, чтобы минимизировать образование частиц. Процесс сушки фотополимера происходит с точным контролем температуры, что обеспечивает возможность получения стабильных результатов.

Инфракрасная лампа с чипом на подложке

Wed, 24 Jun 2026 01:37:28 +0800

На производственном участке небольшое изменение температуры в размере 0,1°C во время обработки фотополимера может привести к изменению ширины линий на пластине, что делает годные пластины бракованными. Инфракрасная лампа типа “чип-он-вэйвер” была разработана для предотвращения таких изменений на самом начальном этапе обработки. Она предназначена для контроля температуры на уровне пластины; при этом требуется высокая точность контроля, поскольку ресурсы для терморегулирования ограничены.

Что имеет значение с технической точки зрения
Мы используем излучатели в диапазоне ближнего инфракрасного света, сделанные из кварца и галогенов; их спектр излучения настроен таким образом, чтобы энергия направлялась непосредственно в фотополимер и тонкие слои. Система обеспечивает стабильность температуры на поверхности пластины в пределах ±0,1°C на участках длиной от 150 до 300 мм. Достижение заданной температуры происходит менее чем за 2 секунды. Повторяемость температуры при различных условиях обработки составляет ±0,5°C, что позволяет сохранять точные размеры деталей.

Нагреватель промышленной системы сушки пластин

Tue, 09 Jun 2026 01:33:22 +0800

На производственном участке все понятно: отклонение температуры на 0,1°C во время сушки пластин или запекания фоторезиста может незаметно снизить выход продукции линии. Нагреватель — это не просто еще одна коробка на заднем плане, он задаёт тепловой бюджет, который определяет точность управления размерными характеристиками в литографии. Мы разработали промышленный нагреватель для системы сушки пластин, учитывая эту реальность, где точность технологического процесса не допускает компромиссов, а незапланированные простои напрямую приводят к браку пластин.

Что важно с технической точки зрения
Мы используем излучатели коротковолнового инфракрасного спектра в конструкции на основе кварца, чтобы обеспечивать быстрый и чистый нагрев с низкой тепловой инерцией. Это позволяет достигать однородности температуры по поверхности запекания на уровне ±0,1°C, что даёт возможность жестко контролировать временные интервалы мягкого и твёрдого запекания. Система спроектирована для работы в чистых помещениях с классом от 1 до 100, обеспечивая нулевую генерацию частиц и низкое выделение паров. Повторяемость температуры сохраняется от партии к партии и изо дня в день, что предотвращает дрейф критических размеров.