Запасной нагревательный элемент Axcelis

Mon, 08 Jun 2026 03:09:10 +0800

На линии 300мм тепловой дрейф — это не «возможно», а причина остановки линии. Один шаг запекания вне спецификации — и критические размеры сдвигаются по всей пластине. Это часы работы, которые нельзя вернуть. Запасные нагревательные элементы Axcelis разработаны для поддержания стабильного теплового профиля смену за сменой.

Что важно под капотом
Эти элементы обеспечивают стабильный нагрев с быстрым откликом на треках Axcelis — поддерживая этапы мягкого и жесткого запекания фоторезиста с температурной однородностью ±0,1°C по всей плоскости пластины. Кварц в сочетании с коротковолновым инфракрасным излучением обеспечивает быстрый набор температуры и повторяемую стабильность работы. Материалы и соединения подобраны с учетом минимизации количества частиц, что позволяет использовать их в чистых помещениях классов 1–100.

Акселис on Smart Quartz Infrared Heaters

Запасной нагревательный элемент Axcelis